ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U16
ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U16
低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。
此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。
在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。
长处
适用于大中型生产设备。
非常适合大规模批量沉积设备。
耐热负荷。
油回转真空泵油分离设备UFO-003 UFW-003
油回转真空泵粉尘过滤器
DS-20 DS-25 DS-40 DS-50 DS-2 DS-3 DS-4
油回转真空泵粉末吸附过滤器TRO-50 TRO-80 TRO-100
油回转真空泵水冷式捕集器
WT-25 WT-50 WT-80 WT-100
油回转真空泵油式过滤器
OT-50 OT-80 OT-100
油回转真空泵冷却过滤器
| 抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 5,000 |
| 氢 | 10,000 | ||
| 氩 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 极限压力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
| *流量 | 氩 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1,4×10%3(11.0) |
| 排气量 | 氩 | Pa・L (Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氢 | 2.4×10%6(1.8×104) | ||
|
冷却下降时间 (电源循环) |
*小(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-400型 | ||
| 压缩机组 | 产品 C30VRT | ||
| 质量 | 公斤 | 61.0 | |
