ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2025-07-04 13:46:20

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP

低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U8HSP

在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

非常适合溅射工艺。

氩气的排量约为传统型号 (U8H) 的 2.5 倍。

氢气的抽速约为传统型号 (U8H) 的 1.2 倍。

再生间隔更长,有助于提高设备的运转率。

可进行多次作(*多 3 台)。

隔膜式干式真空泵

DTC-22

DTC-22A

DTC-22B

DTC-22C

DTC-41

DTC-41C

DTC-41D

DTC-41E

DTC-41F

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DTC-60

DTC-41K

DTC-41KC

DTC-41KD

DTC-41KE

DTC-41KF

DTC-120

DTC-120D

DTC-120E

规范

抽速 (20°C) L/s 1,700
3,200
1,400
4,000
极限压力 帕(托) 10-7(10-9)
*流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1,2×103(8.9)
2.4×10%2(1.8)
排气量 Pa・L (Torr・L) 2,5×108(1.9×106)
1.0×106(7.8×10)3)
冷却下降时间
(电源循环)
*小(Hz) 125/115(50/60)
进气法兰 UVG-200,6BANSI,UFC-253
压缩机组 C10T、C10AT
质量 公斤 33.2
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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