涡旋式干泵

涡旋式干式真空泵是通过螺旋定子和转子的联合运动来排气的干式真空泵。
用途广泛，包括真空干燥设备、理化分析设备、真空吸附输送设备、真空热处理炉等。

涡旋式干式真空泵由两个形状相同的涡旋体组成，涡旋体的中心稍微偏移，使它们的壁彼此线接触，从而一侧相对于另一侧进行摇摆运动，其结构是这样的。被困在月牙形空间中的气体被向中心压缩并从中心的孔排出。 压缩过程通常设计为发生两次或多次，从而产生较低的振动和噪音。极限压力可达1Pa。

涡旋式干泵Model:DIS-501

•双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。
•可在大气压下实现操作运行。
•可实现高极限真空。
•低振动低噪音。
•维护周期可通过计时表控制。

特点

• 结构紧凑，排气量大。

• 干式真空泵的*压力水平。

• 内置自动复位型热保护器（单相用）安全设计。。

• 通过空气冲洗抑制水分凝结。。

用途

• 分析设备

• 气体回收系统

• 涂装设备

• TMP的背泵

• 氦气检漏仪

• 半导体制造工艺

使用上的注意

１	粉末和生成物吸入会导致泵损坏。 请使用吸气阱。
２	吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障。
３	三相规格没有电机保护功能。 请务必安装保护装置，如漏电断路器。

尺寸图

DIS-501（Single phase）

DIS-501（Three phase）

排气速度曲线