
长期零点稳定性:小于 0.5% 满量程/年
稳定时间:1 秒或更短
满量程流量高达 300 slpm
全金属密封流路:16 μ“ Ra 表面光洁度
耐腐蚀的哈氏合金®传感器可以在低温下工作,适用于容易发生热变性的气体
可配置的 MultiFlo™ 功能 - 在单个设备中支持数千种气体类型和范围组合,而无需断开气体管线或牺牲精度
有效的温度补偿,实现*的温度系数规格
自诊断常规和独立的诊断服务端口
纤薄的机身宽度,带 VCR 配件
DeviceNet™、Profibus®、RS-485、模拟接口
流量稳定时间小于 1 秒,可消除气体浪费和工艺可变性
可渗透氧气,不使用需要随着时间的推移而更换的弹性体密封件
MultiFlo™ 简化和流水了工艺气体转换,无需去除或校准 MFC
可以在不到 60 秒的时间内设置新的气体和/或范围
测量精度不受温度波动的影响
易于访问诊断端口,以*限度地延长生产正常运行时间
体积紧凑,可轻松集成到狭小的机器空间中,是改进的理想选择
多个协议通信接口简化了与现有系统的集成
*半导体工艺工具,用于对传统 MFC 进行经济高效的改造/升级
减少 6 英寸和 8 英寸半导体工厂的 MFC 库存
用于 LED 和功率器件制造的 MOCVD
太阳能/薄膜化学气相沉积 (CVD) 系统
分析OEM设备
