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从而可以消除化工生产中的污染和公害。1B型径向双端面机械密封,对动环结构进行了改进和调整,将压力从1.Mpa提高到1.6-2.5Mpa,可满足大型、特大型密封性能的要求,可满足压力较高场合的使用,可满足易燃、易爆、有毒介质条件的使用,该产品的研制*,填补了国内空白,技术水平达到*水平,为搪瓷行业搅拌容器参与市场的竞争提供了密封性能的可靠性。密封泄漏原因分析:动、静环端面划伤、变形,加工精度、安装精度低于密封标准规定值;弹簧失效;冷却装置失效,冷却效果差;密封端面温度高,油膜气化。
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因为这是掌握AMC控制的基础,必须先行;按今后IC的生产要求,生产线的设备采用微环境隔离,各设备间园片的传送采用前开式标准片盒(FOUPs)系统,对园片进行隔离。早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发,并不断改进中;控制AMC的过滤器。近年来尤其是近2~3年来,对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展;A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA;低硼细玻璃纤维过滤器,现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多;b.多孔聚四稀(ePTFE)过滤器,为薄膜结构,价格比a要高出十倍左右。
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