派瑞林parylene设备气相沉积过程

来源：派珂纳米科技（苏州）有限公司
发布时间：2021-06-18 10:22:10
派瑞林parylene真空气相沉积设备又名派瑞林镀膜机、哌拉伦镀膜机，是用于电路板pcba、线圈马达、硅橡胶制品、磁性材料、led/oled、传感器、微电子产品、电池、产品、书籍画卷等产品镀膜的设备，与传统的三防喷涂设备不同，它采用了一种特的化学气相沉积工艺（cvd），沉积过程过程主要有以下三个步骤： 1. 真空环境，温度130℃条件下，固态派瑞林材料升华成气态。 2. 真空环境，温度680℃条件下，将气态双分子裂解成为活性单体。 3. 真空环境，常温下，气态单体在基体上生长聚合，形成致密的防护膜。气相沉积过程决定了派瑞林parylene膜层厚度可以自由控制、膜层厚度整体比较均匀、膜层比较完整无薄弱点无针孔等特点，所以被涂敷后的产品膜层防护性能明显优于喷漆、环氧、电镀等传统三防工艺，防水、绝缘、耐盐雾、耐腐蚀的防护效果也更好，从而提高产品性能，延长使用寿命。派瑞林parylene设备气相沉积过程
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