真空过滤器SMC设备运转VX222AA

真空过滤器SMC设备运转VX222AA

防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。

・滤芯过滤面积大。) 停止运转，使过滤器的内压变为大气压。

 拧松紧定螺钉，打开盖。

 捏住滤芯上部的提手部，取出。

 确认垫片有无破损，变形，膨胀等，确认有异常的场合，请

更换新品。由于可在滤芯内捕捉固

形异物，因此壳内无残

滤芯过滤面积大。

可更换滤芯的夹头式

 按相反的顺序更换新滤芯。另外，将滤芯插入壳体时，若插

入时方向错误，则无法合上盖。

关闭盖，拧紧紧定螺钉。

确认各部无泄漏后，开始实际运转。

真空过滤器 ZFA 系列

滤芯(聚乙稀、ABS)

(可更换)由于可在滤芯内捕捉固体异

物，因此壳内无残留。

*多可集装10位IN侧配管的安装方向，

可设定为360°旋转。

快换管接头可容易拆

树脂主体，故紧凑、轻

紧定螺钉，打开盖。

 捏住滤芯上部的提手部，取出。

 确认垫片有无破损，变形，膨胀等，确认有异常的场合，请

更换新品。由于可在滤芯内捕捉固

形异物，因此壳内无残

滤芯过滤面积大。

可更换滤芯的可更换滤芯的夹头

滤芯过滤面积大

哪个方向都可能安装

可更换滤芯的夹头式

系列 接管口径 流量L/min(ANR)注) 质量 kg

真空过滤器SMC设备运转VX222AA