KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU100XE

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU100XE

KASHIYAMA（樫山工业）是日本的真空设备制造商，其干式真空泵以无油运行、耐腐蚀设计及低维护成本为核心优势，广泛应用于半导体、化工、制药等对洁净真空要求严苛的领域。

KASHIYAMA樫山工业 干式真空泵 MU100XE

核心技术特性
无油干式技术
螺杆式/爪式转子结构：
通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，避免油蒸气污染（适合敏感工艺如晶圆加工）。
抽速范围 10~1,500 m³/h，极限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蚀设计：
转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，耐受酸性气体（如HCl、Cl₂）和颗粒物。
节能高效：
变频驱动（VFD）调节转速，能耗较油封泵降低30%~50%。
智能控制与监控
实时参数显示：真空度、温度、功耗等数据通过触摸屏或远程接口（Modbus/以太网）输出。
自诊断系统：振动、温度传感器预警异常（如过载或异物进入），自动停机保护。
典型应用场景
半导体与电子
晶圆制造：CVD/PVD设备抽真空，避免油污染（需Class 1000洁净环境）。
LED封装：固晶机、焊线机的无油真空吸附。
化工与制药
溶剂回收：抽除挥发性有机物（VOCs），配套冷凝器实现回收。
冻干机：药品冻干工艺中的无油真空保障（符合GMP要求）。
新能源
锂电池干燥：极片烘箱抽湿，露点≤-40℃。