EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S100

作为中等负荷工艺的干式真空泵，搭载荏原的节能技术，采用面向自 动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。 

通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺， 能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应 对未来的工艺扩展。

主要特点

无油污染：干式真空泵在运行过程中不使用油或其他液体介质，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适合对洁净度要求极高的行业，如半导体和制药。

低维护成本：由于无需定期更换油液或处理废油，干式真空泵的维护成本较低，且运行更加可靠。

环保性能优越：干式真空泵减少了油类废弃物的产生，符合现代工业对环保和可持续发展的要求。

高效节能：干式真空泵通常采用*的设计和材料，具有较高的抽气效率和能源利用率。

适应性强：能够处理含有粉尘、颗粒或腐蚀性气体的介质，适用范围广泛。

之，干式真空泵以其无污染、高效和环保的特点，在现代工业中扮演着越来越重要的角色，成为高洁净度工艺中不可或缺的关键设备。