ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR300
来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-02 15:26:46
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR300
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR300
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。
通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以
气态排出。
长处
可以在气态下排放高温区域热均衡
CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。
“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。
由于安装了氦气密封
屏蔽电机，因此具有密封结构，因此非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要
部件采用特殊的表面处理，以高表面硬度和优异的耐腐蚀性为标准。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
CVD 设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等
| 型 | HR60 | HR90 | HR300 型 | HR600 型 | HR1200 型 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | ||||
|
* 抽速 |
50 赫兹 |
m3/h （升/分钟） |
62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60 赫兹 |
m3/h （升/分钟） |
80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 极限压力 | 帕 | 5 | 0.67 | ||||||
|
*入口压力 （入口压力） |
|
大气压力 *1 | |||||||
|
*排气口压力 （排气压力） |
帕 | 1~大气压 | |||||||
| 进气口 （CE 规格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG80（KF80） 系列 | VG100型 （KF100） | |||||
| 排气口 | 肯氟烃40 | ||||||||
| 质量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三个阶段 | 交流电（Hz） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 当前值 | 稳态 | 一个 |
7.1 （200V 时） |
11.2 （200V 时） |
7.8 （200V 时） |
12.9 （200V 时） |
15.4 （200V 时） |
||
| *值 | 一个 |
7.3 （200V 时） |
11.8 （200V 时） |
8.1 （200V 时） |
13.8 （200V 时） |
18.9 （200V 时） |
|||
| 冷却水临时压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2 吹扫 | 轴 | SLM 系列 | 5 | ||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | |||||||
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，仪器仪表交易网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
上一篇：
湖北学校安全性鉴定办理中心
下一篇：
玉溪民宿房屋安全质量鉴定服务机构
