ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A
来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-02 15:38:55
ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A
ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 MS600A
螺杆式真空泵是一种真空泵，其中泵壳中的螺杆转子将流体引导到网状间隙中并旋转它以沿轴向连续移动流体。
“Model：MS” 是被归类为螺杆式干式真空泵的真空泵。 这是一种基于传统“Model：LS”的耐过程性干式真空泵，具有更高的耐腐蚀性和粉末排出性。 它设计用于具有腐蚀性气体和粉末排放的真空过程。
长处
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊表面处理，实现了高耐腐蚀性。
螺旋式转子轴具有 ULVAC 独有的设计，可实现高粉末排放。
可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。
用
电子元件和半导体制造设备、
蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等的真空排气系统
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等的真空排气系统
锂电池制造设备、
电极干燥设备、消泡设备、注液设备等的真空排气系统。
医疗和食品相关设备的真空排气系统、
冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| *抽速 *1 | m3/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 近似功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
|
*水蒸气吞吐量 *1*3 |
公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音水平 *2 | 分贝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50 （水平） / VG50 （垂直） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | 肯氟烃40 | |||
| 重量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 法规遵从性 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器防护罩、消音器 1 套 | |||
| 主机选项 |
电源电压：200 V 级或 400 V 级 密封材料：氟橡胶 （FKM） 或全氟弹性体 （FFKM） |
|||
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震装置、LR 兼容单元（进气口、信号）、吹扫气体阀 | |||
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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