ULVAC爱发科 油扩散泵 ULK-14A

来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-02 16:14:09

ULVAC爱发科 油扩散泵 ULK-14A

ULVAC爱发科 油扩散泵 ULK-14A

油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动，从而产生真空。 这个过程非常有效，尤其是在需要高真空的应用中。

油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，与其他高真空泵相比，安装经济上容易，初始成本低，并且由于结构简单，具有可靠性和耐用性，可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。

爱发科的 ULK 型油扩散泵是一种高真空排气泵，其设计具有大临界背压和小尺寸。

它被广泛用于从研究应用到生产线。

ULVAC爱发科 油扩散泵 ULK-14A

长处

它是一种坚固的高真空泵，没有机械滑动部件。

两种类型的油和加热器的选择将使您达到所需的抽速和极限压力。

它配备了一个机构，以防止液压油流向辅助泵侧。

用

・气相沉积设备

、高真空实验室设备

型 ULK-04A 系列 ULK-06A 系列 ULK-10A 型 ULK-14A 型
抽速 550 升/秒 500 升/秒 1200 升/秒 1100 升/秒 3400 升/秒 3000 升/秒 5400 升/秒 4900 升/秒
极限压力 *1 <2.6×10-5 帕 <2.6×10-6 帕 <2.6×10-5 帕 <2.6×10-6 帕 <2.6×10-5 帕 <2.6×10-6 帕 <2.6×10-5 帕 <2.6×10-6 帕
临界背压 40 帕 60 帕 40 帕 60 帕 35 帕 40 帕 30 帕 30 帕
开始时间 9 分钟 8.5 分钟 16.5 分钟 15 分钟 20 分钟 20 分钟 25 分钟 25 分钟
液压油 *2 ULVOIL
D-11，SX 系列 		ULVOIL D-31 （ULVOIL
D-31） 		ULVOIL
D-11，SX 系列 		ULVOIL D-31 （ULVOIL
D-31） 		ULVOIL
D-11，SX 系列 		ULVOIL D-31 （ULVOIL
D-31） 		ULVOIL
D-11，SX 系列 		ULVOIL D-31 （ULVOIL
D-31）
油量 0.15 升 0.35 升 0.8 升 1.5 升
水温 19°C ~ 25°C
冷却水（
尺寸×系统数量） 		遥控 1/4” 遥控 1/4” 遥控 3/8” 遥控 3/8”
冷却水量 1 升/分钟 1 升/分钟 1.5 升/分钟 2.5 升/分钟 3 升/分钟 2.5 升/分钟 3.5 升/分钟
电压规格 200V / 1Φ
电源要求 0.55 千瓦 0.73 千瓦 0.9 千瓦 1.2 千瓦 2.4 千瓦 2 千瓦 2.25 千瓦 2.4 千瓦
加热器类型 热板 热板 热板 热板
辅助泵 *3 VD151 / VD201 /
PVD-180 / PVD-360 系列 		VD30C / VD40C /
VD60C 		VD90C / VS1501 /
PKS-016 / PKS-030 		VS1501 / VS2401 /
PKS-030
外径 *4 一个 175 毫米 250 毫米 340 毫米 340 毫米
B 150 毫米 180 毫米 240 毫米 240 毫米
H 346 毫米 454 毫米 650 毫米 670 毫米
进气口 VG100 系列 VG150型 VG250 系列 VG350型
排气口 VG25型 VG40 系列 VG80型 VG80型
质量 7.5 千克 13.5 千克 47 千克 56 千克
油位计 没有 没有 视窗 视窗
恒温器
选项 		存在 存在 存在 存在
恒温器
设定温度 		250 °摄氏度 250 °摄氏度 180 摄氏度 180 摄氏度
ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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