ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U12H

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2025-07-04 13:43:56

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U12H

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U12H

低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U12H

在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

适用于中大型生产设备。

它耐热负荷,可用于各种工艺。

双级旋片型油回转真空泵

PVD-180、PVD-360

PVD-180-H、PVD-360-H

PVD-180-Z、PVD-360-Z

PVD-180B、PVD-360B

滑阀型油回转真空泵

PKS-016, PKS-030, PKS-070B

油回转真空泵用油雾过滤器

TMX-1

TM201

TM401

TM-2、TM-2F

TM-3、TM-3F

TM-4、TM-4F

TM-4S

G-5SA

G-5DA

G-10DA

G-20DA

G-50DA

G-101D

G-25SA

G-50SA

G-50DA

G-101S

GLS-051

GLD-040

规范

抽速 (20°C) L/s 4,000
6,000
3,300
9,500
极限压力 帕(托) 10-7(10-9)
*流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15)
排气量 Pa・L (Torr・L) 2.1×108(1.6×106)
9.8×105(7.4×103)
冷却下降时间
(电源循环)
*小(Hz) 85/75(50/60)
进气法兰 UVG-300,10BANSI 系列
压缩机组 产品 C30VRT
质量 公斤 40.0
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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