ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 LR90

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 LR90

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 LR90

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。
通过在低温范围内平衡泵体的热量，它是 PVD 工艺抽真空的理想泵，尤其是在制备和取出室中，缩短泵送时间以提高吞吐量非常重要。

长处
除了低温整平（型号：LR）
PVD 工艺外，它还特别适用于制备室和取出室的排气，在这些地方，缩短抽气时间对于提高产量很重要。
由于其密封结构，由于其密封
结构，它非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊
表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
成膜设备（溅射设备、气相沉积设备等）
减少准备室和取出室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气、机械增压泵）
规范
型
LR60 系列
LR90 系列
LR180型
LR421 系列
LR421-T
*抽速
50 赫兹
m3/h
（升/分钟）
62 (1030)
112 (1860)
183 (3100)
440 (7333)
60 赫兹
m3/h
（升/分钟）
80 (1333)
126 (2100)
237 (3950)
440 (7333)
极限压力
5.0 帕
*入口压力（入口压力）
气压
*排气口压力（排气压力）
1Pa ~ 大气压
进气口 （CE 规格）
VG50（KF50） 系列
VG80型 （KF50）
VG100 系列
排气口
肯氟烃40
VG50 系列
质量
公斤
180
245
335
415
电力 *1
三个阶段
VAC （赫兹）
200 (50/60) , 220 (60)
0 （50/60）
当前值
稳态
一个
200V 时为 6.9
200V 时为 11.2
200V 时为 18.9
200V 时为 20.8
*值
一个
200V 时为 7.3
200V 时为 11.8
200V 时为 20.6
200V 时为 48.5
冷却水临时压力
兆帕
0.1~0.3
0.2~0.5
冷却水入口/出口压差
兆帕
>0.1
>0.2
冷却水流量
升/分钟
>5.0
>4.0
吹扫气体
一次压力
兆帕
0.1~0.5
二次压力
兆帕
0.05~0.1
N2 吹扫
轴
SLM 系列
5
加斯伯勒
SLM 系列
0~45
没有
0~45
ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。