ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-S

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2025-07-01 16:23:54

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-S

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-S

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域,需要更清洁的真空,并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 *常见的泵是罗茨干式真空泵。

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-S

干式真空泵“型号:CR VerB”是一款已获得国际标准(CE、cTUVus)的风冷罗茨型干式真空泵。

排气室不使用油,转子和气缸以非接触方式运行,可以长时间稳定运行。

长处

排气室是非接触式的,不使用油,因此可以长时间稳定排气。

由于不需要冷却水和氮气,因此有助于降低运行成本。

配备直流屏蔽电机,节能、密闭、轻量化。

气镇机构可实现蒸汽排放。

标准:CE、cTUVus

真空排气清洁气体,如空气和惰性气体

真空干燥等水蒸气排放(必须使用气镇)

用于溅射、气相沉积等的真空设备。

CR16B 系列 CR30B 型 CR60B-S 系列 CR60B-T 型 CR300B 系列
*抽速 m3/小时 16 30 55 300
升/分钟 280 500 920 5000
极限压力 *1 ≦3.0 ≦0.5
*入口压力
气压
*排气口压力
气压
电源电压 *2 单相:100 V、200 V 三相:200 V 单相:200V 三相:200V 三相:200V
电机额定值 千瓦 0.72 1.5 3.0
进气口 KF25 系列 肯氟烃40 KF50 系列
排气口 KF25 系列 肯氟烃40
质量 公斤 35 48 100
法规遵从性 CE、cTUVus
冷却方式 风冷
气镇机构 *3 存在
*蒸汽处理量 *4 克/小时 <300 <500
标准配件 电源连接器、信号连接器、使用说明书、空气过滤器、防护装置
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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