ULVAC爱发科 油扩散泵 BW-14
ULVAC爱发科 油扩散泵 BW-14
油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动,从而产生真空。 这个过程非常有效,尤其是在需要高真空的应用中。
油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空,与其他高真空泵相比,安装经济上容易,初始成本低,并且由于结构简单,具有可靠性和耐用性,可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。
它抑制了油蒸气从油扩散泵回流到进气侧。
长处
保护真空容器内部免受油扩散泵的蒸汽污染。
它旨在*限度地减少排气阻力。
BW-04B 和 BW-06B 可以通过设置适配器进一步降低油蒸气的回流速率。
| 型 | BW-02 系列 | BW-04B 系列 | BW-06B 系列 | BW-10 系列 | BW-14 系列 | BW-20 系列 | BW-22 系列 | BW-36 系列 | BW-52 型 | ||
| 电导 [L/sec] | 100 | 940 | 2200 | 3130 | 5000 | 13000 | 14000 | 54000 | 75000 | ||
| 外径 [mm] | D | φ120 | φ149 | φ199 | φ350 | φ450 | φ625 | φ680 | φ1065 | φ1480 | |
| T | 52 | 101 | 113 | 165 | |||||||
| t | 4 | 26 | 28 | 35 | |||||||
| 冷却水接管(尺寸) | 遥控 1/8 | RC 1/4 | RC 1/4 | RC 1/4 | 遥控 3/8 | 遥控 3/8 | 遥控 3/8 | 遥控 3/8 | RC 1/2 | ||
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冷却水 量 [L/min] |
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| 重量 [kg] | 1 | 1.3 | 1.7 | 7.6 | 11 | 22 | 28 | 66 | 200 | ||
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。
