ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-36
来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-02 15:50:52
ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-36
ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-36
油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动，从而产生真空。 这个过程非常有效，尤其是在需要高真空的应用中。
油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，与其他高真空泵相比，安装经济上容易，初始成本低，并且由于结构简单，具有可靠性和耐用性，可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。
爱发科的 PFL 油扩散泵是经过多年的研究和丰富的生产经验设计和制造而成。 我们有 4B ~ 22B 的 52 种型号阵容。 它被用于许多大型真空设备和真空炉等高真空生产设备，其实用性能受到高度评价。
长处
与相同直径的其他泵相比，它具有更高的抽速。
它是一种油蒸气回流低的泵。
它是一种经济型泵，功率要求低，油量少。
这是一款维护性*的泵，易于更换和维修加热器。
焊接技术非常好，氦气检漏仪经过了*的泄漏测试，因此在机械和真空方面都非常可靠。
规范
| 型 | PFL-22 系列 | PFL-22TM | PFL-36 系列 | PFL-52 系列 | |
| 抽速 | 10,000 升/秒 | 10,000 升/秒 | 34,000 升/秒 | 70,000 升/秒 | |
| 极限压力 *1 | 3.0×10-4 帕 | ||||
| 临界背压 | 16 帕 | 6.7 帕 | 16 帕 | ||
| 开始时间 | 40 分钟 | 60 分钟 | 60 分钟 | ||
| 液压油 | ULVOIL D-11 | ||||
| 油量 | 5 升 | 13 升 | 27 升 | ||
| 水温 | 19~25°C | ||||
|
冷却水（ 尺寸×系统数量） |
遥控 1/2×2 | 遥控 1/2×2 | 遥控 1/2×2 | 遥控 1/2×4 | |
| 遥控 3/8×2 | |||||
| 冷却水量 | 12 升/分钟 | 15 升/分钟 | 38 升/分钟 | 50 升/分钟 | |
| 电压规格 | 200V / 3φ | ||||
| 电源要求 | 8 千瓦 | 10 千瓦 | 启动 22 kW | 启动 45 kW | |
| 稳态 11 kW | 稳态 30 kW | ||||
| 加热器类型 | 电加热器 | 电加热器 | 电加热器 | 电加热器 | |
| 辅助泵 *2 |
PMB-040C+PKS-070 （PMB1200D+PKS-030） |
PMB-040C+PKS-070 （PMB1200D+PKS-070）（ PMB2400D+PKS-070） |
PMB-060C + PKS-070 × 2 台 PMB2400D + PKS-070 |
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| 外径 *3 | 一个 | 480 毫米 | 480 毫米 | 725 毫米 | 1,000 毫米 |
| B | 630 毫米 | 630 毫米 | 1,022 毫米 | 2,000 毫米 | |
| H | 1,330 毫米 | 1,330 毫米 | 1,732 毫米 | 2,845 毫米 | |
| 进气口 | VG550型 | VG550型 | VG900 系列 | VG 等效 52 英寸 | |
| 排气口 | VG150型 | VG200 系列 | VG250 系列 | VG350型 | |
| 质量 | 290 千克 | 650公斤 | 1400公斤 | ||
| 油位计 | 视窗 | 视窗 | 视窗 | ||
| 恒温器选项 | 存在 | 存在 | 存在 | ||
| 恒温器设定温度 | 180 摄氏度 | 110 °摄氏度 |
110 °摄氏度 |
||
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。
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温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
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