ULVAC爱发科 溅射离子泵 PST-030CU

ULVAC爱发科 溅射离子泵 PST-030CU

ULVAC爱发科 溅射离子泵 PST-030CU

溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。 电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。 这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。 该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。

溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择，因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且没有机械运动部件，因此使用寿命长，维护成本低，并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。 此外，与其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等优点。

该泵利用溅射活性钛的吸气剂作用来增强高真空范围内的排气特性。

通过优化新元件和磁场，改善了极端和高真空范围内的排气特性。

长处

兼容极端和高真空。 10 带 ISO 标准测试圆球-9PA 装置极限压力演示。

惰性气体强化排气型（AU 型）实现了氩气排气性能的两倍。 （与我们公司相比）

在高真空范围内实现大抽速。

可以在短时间内排气到高真空范围。

在高真空范围内具有*的启动特性。 （放电可承受至高真空）

用

粒子加速器

电子显微镜

电子束光刻设备

抗振分析仪

使用极端和高真空环境等