ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U10HSP

来源:高斯摩(成都)国际贸易有限公司
发布时间:2025-07-04 13:44:46

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U10HSP

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U10HSP

低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

ULVAC爱发科 低温泵 CRYO-U10HSP

在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。


旋片式干式真空泵

DSB-151

DSB-251

DSB-451

DSB-602

油旋片真空泵

Gv135

Gv200

VS300A-W

单极旋片型

VS1501

VS2401

大容量单极旋片型

VS650B / VS750B

VS650B-A   VS650B-W  VS650B-WL   VS750B-A VS750B-W

双级旋片型油回转真空泵

VD30C VD40C VD60C VD90C

配件

VD30C-N, VD40C-N

VD30C-B, VD40C-B

VD30C-H, VD40C-H,

VD60C-H, VD90C-H

VD30C-F, VD40C-F

规范

抽速 (20°C) L/s 2,400
3,600
2,000
6,900
极限压力 帕(托) 10-7(10-9)
*流量 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.30×103(9.8)
排气量 Pa・L (Torr・L) 2.0×108(1.5×106)
1,2×106(9.0×103)
冷却下降时间
(电源循环)
*小(Hz) 120/110(50/60)
进气法兰 UVG-250,10BANSI 系列
压缩机组 C15T 系列
质量 公斤 36.0
ULVAC(爱发科)是日本*的真空技术和精密设备制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业,ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域,为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖:
真空设备:干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术(PVD/CVD):用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备:溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器:X射线光电子能谱仪(XPS)、电子显微镜等。
新能源与显示技术:OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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