HORIBA堀场电导率计HF-960EM

来源:深圳京都玉崎电子有限公司
发布时间:2022-05-11 16:38:37

HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.是分析仪*制造商HORIBA, Ltd.的集团公司,是环境测量和半导体清洗领域的传感技术*公司。通过将相关产品引入水处理、半导体、地球环境、农林水产和食品等领域,我们为支持我们的日常生活和整体工业活动的生命线做出贡献,并为保护地球环境发挥作用。我们的目标是成为水量测量的事实标准,并将在创造舒适环境方面发挥生态*的作用。


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13. HF-960EM

用于半导体制造工艺的 HF 密度计

HF-960EM 是使用带有完全 PFA 接液部件的传感器的型号,以满足半导体工艺的清洁度要求。传感器尺寸已缩小到*极限,以支持节省空间的安装。提高稳定性和重现性准确性,并支持高达 50% HF 浓度的宽测量范围。

· 特征:HF 密度高达 50% 的宽范围设置

· 高稳定性/再现性精度
内置温度测量传感器支持高达 80°C 的 HF 样品测量。再现精度达到 FS ± 0.5%。

· 自动量程兼容功能

· 无污染/耐化学性液体传感器
使用仅使用 PFA 作为接液材料的清洁结构的传感器。由于它是一种耐化学品传感器,它还可以测量半导体工艺中使用的各种化学品。

· 比我们的传统传感器更小、更轻
的传感器。它的尺寸缩小了 2/3,并且明显更轻。提高了安装空间的自由度,例如安装在单晶片喷嘴的前面。

 

规格:

模型

HF-960EM

测量范围

HF:0 -50%,HCl:0 -10%,电导率:0――2000 mS/cm

重复性

在满量程的 +/- 0.5% 以内(等效输入)

直线度

满量程 +/- 0.5% FS 或更小(等效输入)

传输输出

输出点数:4点

接点输出

输出点数:5点

触点输入

输入点数:2点

通讯功能

RS-485

电源供应

直流 24 V +/- 10% 15W

合格传感器

CM-520 系列

润湿部分

粉煤灰

HORIBA堀场电导率计HF-960EM

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