ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1

来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-07 14:44:01

ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1

ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1

传感器单元 SP1 是一种传感器型皮拉尼真空计，其中集成了测量元件和电路，可节省成本和空间。

长处

节省成本和空间的传感器类型

灯丝材料由铂制成，具有优异的耐腐蚀性。

ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SP1

2 个设定点输出，测量元件输出：DC0~5V（非线性输出）

电源电压：DC24V 输入

用

用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空范围内的过程控制

用于窑炉和其他工业设备的低真空范围内的过程控制

用于具有许多工艺腔室的各种制造设备（如在线和单晶片）的低真空范围内的过程控制

类型 传感器单元
型 第 1 页
自适应测量元件 WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

测量精度


±15 %（51 Pa ~760 Pa）
±30 %（10 帕 ~1000 帕）
±50 %（0.4 帕 ~3000 帕）
工作温度范围 10~40°C
采样时间 50ms 5 移动平均线处理

测量值输出


非线性输出：DC0-5V（* 10V）
（更新时间） 50 ms
（分辨率） 10 mV
用于设定点 1/2 调整的输出 非线性输出：DC 0-5V（* 10V）
控制输出信号 集电极开路，负逻辑
错误信号
设定点 1/2
LED 指示 功率、错误、设定点 1/2
电源电压 DC24V±2V， 90mA（*）
输入/输出连接器 D-sub-15P（M2.6 螺丝）
体重 190g （不包括测量元件）

附属品

1 组 I/O 连接器
快速手册 （1 份）
ULVAC（爱发科）是日本*的真空技术和精密设备制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川县。作为全球真空行业的企业，ULVAC专注于真空设备、镀膜系统、半导体制造设备、分析仪器等高科技领域，为电子、光伏、汽车、医疗等行业提供核心技术支持。
2. 核心技术及产品
ULVAC的核心业务涵盖：
真空设备：干式真空泵、分子泵、真空测量仪器等。
镀膜技术（PVD/CVD）：用于半导体、光学薄膜、太阳能电池等。
半导体制造设备：溅射设备、蚀刻设备、封装设备等。
分析测试仪器：X射线光电子能谱仪（XPS）、电子显微镜等。
新能源与显示技术：OLED蒸镀设备、锂电薄膜设备等。

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