HYDAC贺德克球阀KHB-M30*1.5-1112-01X-A特点

材质与洁净处理上,阀体采用316L EP(电解抛光)不锈钢,内壁粗糙度Ra≤0.1μm,且经过180℃高温脱气处理48小时,VOCs残留量≤5ppb;所有部件在Class 10洁净车间内装配,避免外界污染。密封结构采用全氟醚(FFKM)O型圈,通过SEMI F57,无颗粒析出,且兼容各种高纯特种气体。
流道设计采用“零死体积”结构,避免气体滞留产生的交叉污染;阀门开关采用“快速轻触”式执行器,开关时间≤0.1秒,减少气流扰动带来的微粒飞扬。某12英寸晶圆厂应用此类阀门后,高纯气体输送的微粒含量
采用EPDM隔膜材料和不锈钢阀体设计,适用于腐蚀性介质(如酸、碱、含悬浮物液体),且驱动部件与介质隔离,避免污染。
其结构支持高温消毒灭菌(如蒸汽灭菌),适用于制药、食品加工等无菌环境。
流体控制特性
通过旋转手轮驱动压缩装置,控制隔膜上下移动实现开启/关闭。阀体内部采用直线通道设计,减少压力损失,支持流量调节。
部分型号配备堰式结构,可实现自排液功能,避免介质残留。
1、流体阻力小、球阀是所有阀类中流体阻力小的一种,即使是缩径球阀,其流体阻力也相当小。
2、止推轴承减小阀杆磨擦力矩,可使阀杆长期操作平稳灵活。
3、阀座密封性能好,采用聚四氟乙烯等弹性材料制成的密封圈,结构易于密封,而且球阀的阀封能力随着介质压力的增高而增大。
4、阀杆密封可靠,由于阀杆只作彷转动运而不做升降运动,阀杆的填料密封不易破坏,且密封能力随着介质的压力增高而增大。
HYDAC贺德克球阀KHB-M30*1.5-1112-01X-A特点
