ULVAC爱发科溅射离子泵 PST-200AXII

溅射离子泵使用电场和磁场使气体分子电离。电离分子被电场加速并与固体目标表面碰撞。这种碰撞导致分子嵌入表面并产生真空。该工艺对于去除惰性和反应性气体特别有效。

溅射离子泵是精密实验和制造工艺的理想选择，因为它们可以实现 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且没有机械运动部件，因此使用寿命长，维护成本低，并且不使用油来提供清洁、无污染的真空环境。此外，与其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等优点。

ULVAC爱发科溅射离子泵 PST-200AXII

该泵利用溅射活性钛的吸气剂作用来增强高真空范围内的排气特性。

通过优化新元件和磁场，改善了极端和高真空范围内的排气特性。

长处

兼容极端和高真空。 10 带 ISO 标准测试圆球-9PA 装置极限压力演示。

惰性气体强化排气型（AU 型）实现了氩气排气性能的两倍。（与我们公司相比）

在高真空范围内实现大抽速。

可以在短时间内排气到高真空范围。

在高真空范围内具有*的启动特性。（放电可承受至高真空）

用

粒子加速器

电子显微镜

电子束光刻设备

抗振分析仪

使用极端和高真空环境等

型		PST-110AU 型	PST-200CXII 系列	PST-200AXII 系列	PST-400CXII 系列	PST-400AXII
废气目标气体		活性气体	活性气体	稀有气体	活性气体	稀有气体
再生抽速*		0.11 米3/s N2 测量气体时	0.2 米3/s N2 测量气体时	0.02 米3/s 测量 Ar 时	0.36 米3/s N2 测量气体时	0.19 米3/s 测量 Ar 时
极限压力		10-9帕	10-10帕
工作压力	建议的值	<4.5x10-3帕	<3.8x10-3帕		<3.0x10-3帕
内部卷		6.5 倍 10-3m3	11 倍 10-3m3		14x10-3m3
泵元件数量		AU 型电池 x2	2 个 CX 型电池×	2 个 AX 型电池×	CX 型单元格 × 4 个公式	4 个 AX 型电池×
连接法兰类型		UFC152的	UFC203
施加电压		直流+7.5kV
加热加热器		无设置	单相 AC200V，600W		单相 AC200V，800W
标准烘烤温度		250°C
质量		36.5 千克	65 公斤		124 公斤
尺寸 W×D×H		171×387×293毫米	296×361×376毫米		296×544×376毫米
使用环境	温度范围	5~40°C
	湿度范围	85% 或更低（无冷凝）
泵固定螺栓孔尺寸		4 位 - M6 深度 15mm	4 位 - M8 厚度 15 毫米		6 位 - M8 深度 15 毫米
的控制器		商品及服务税（GST-07L-B）

以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，仪器仪表交易网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

ULVAC爱发科 溅射离子泵 PST-200AXII