真空过滤器VFS2320-5DZ-02设备原理SMC

真空过滤器VFS2320-5DZ-02设备原理SMC 

・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。

・滤芯过滤面积大。1)停止运转,使过滤器的内压变为大气压。

2)拧松紧定螺钉，打开盖。

3)捏住滤芯上部的提手部.取出。

4)确认垫片有无破损。变影膨胀等,确认有异常的场合,请.

更换新品。可更换滤芯的夹头式。

IN侧配管的安装方向，

可设定为360°旋转。

快换管接头可容易拆

树脂主体，故紧凑、轻

可更换滤

5)按相反的顺序更换新滤芯。另外.将滤芯插入壳体时,若插

入时方向错误，则无法合上盖。

6)关闭盖.拧紧紧定螺钉。

7)确认各部无泄漏后，开始实际运转。

由于可在滤芯内捕捉固体异

物，因此壳内无残留。

*多可集装10位

认垫片有无破损。变影膨胀等,确认有异常的场合,请.

更换新品。可更换滤芯的夹头式。

IN侧配管的安装方向，

可设定为360°旋转。

快换管接头可容易拆

树脂主体，故紧凑、轻

可更换滤

滤芯过滤面积大

拧松紧定螺钉，打开盖。

3)捏住滤芯上部的提手部.取出。

4)确认垫片有无破损。变影膨胀等,确认有异常的场合,请.

更换新品。可更换滤芯的夹头式。

IN侧配管的安装方向

哪个方向都可能安装

可更换滤芯的夹头由于可在滤芯内捕捉固

形异物，因此壳内无残

滤芯过滤面积大。

真空过滤器VFS2320-5DZ-02设备原理SMC