HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.是分析仪*制造商HORIBA, Ltd.的集团公司,是环境测量和半导体清洗领域的传感技术*公司。通过将相关产品引入水处理、半导体、地球环境、农林水产和食品等领域,我们为支持我们的日常生活和整体工业活动的生命线做出贡献,并为保护地球环境发挥作用。我们的目标是成为水量测量的事实标准,并将在创造舒适环境方面发挥生态*的作用。
HORIBA堀场电导率计HE-960LF由深圳市京都玉崎电子有限公司供应
深圳市京都玉崎电子有限公司销售HORIBA堀场电导率计HE-960LF,并提供报价图片。
HE-960LF / FS-09F-1 / 2
平板碳传感器电导仪
浆料浓度控制的理想选择
保持浆料的稀释恒定是有效的。保持适当的电导率值有助于晶片抛光工艺中的工艺稳定性。
即使是高粘度的样品液(CMP Slurry),也采用了降低样品液粘附在电极上的风险的传感器结构。
此外,传感器采用耐化学腐蚀的接液材料制成,满足半导体工艺的清洁度要求。除上述外,还可用于半导体工艺开发阶段的引入,以及控制特殊化学品的导电性。
特征:
高精度/高稳定性
测量范围:0 至 2,000 μS/cm,0 至 10,000 μS/cm
重复性:±0.5% F/S,±1.0% F/S
无金属污染
由于极性材料使用特殊碳,因此无需担心金属污染洗脱。
配备浓度转换功能
通过输入化学浓度和电导率之间的关系以及温度特性,可以进行两种浓度转换。特别适用于低浓度化学品的稀释控制。
节省空间
通过比我们传统的电导率传感器小型化,提高了安装布局的自由度。
规格:
| 产品名称 | 电导率计 | |||
|---|---|---|---|---|
| 模型 | HE-960LF | |||
| 测量方法 | 双电极法电导率测量 | |||
| 温度传感器规格 | 电阻温度检测器1000Ω(0°C时) | |||
| 测量范围 | 电池常数 | 在 0.1 / cm | 在 1.0 / cm | |
| 电导率计 | 0.00-20.00 μS/cm | 0.0-200.0 μS/cm | ||
| 0.0-200.0 μS/cm | 0-2000微秒/厘米 | |||
| 0-1000微秒/厘米 | 0 至 10000 μS/cm | |||
| * 通过改变温度补偿前电导率的测量范围设置进行范围切换 | ||||
| 温度 | 0~100℃ 但是,根据传感器规格(可选择显示小数点后1位或2位) | |||
| 浓度转换 | 可选 1、2 | 0 到 10.000%(转换公式由用户设置) | ||
| 重复性 | 电池常数 | 在 0.1 / cm | 在 1.0 / cm | |
| 电导率 | 0.00-20.00 μS/cm范围 | 0.0-200.0 μS/cm范围 | ± 0.5% 满量程内 | |
| 0.0-200.0 μS/cm范围 | 0-2000 μS/cm范围 | |||
| 0-1000 μS/cm范围 | 0 至 10000 μS/cm 范围 | ± 1.0% 满量程内 | ||
| 温度 | ±0.5℃以内 | |||
| 条件 | 等效输入 | |||
| 直线度 | 电池常数 | 在 0.1 / cm | 在 1.0 / cm | |
| 电导率 | 0.00-20.00 μS/cm范围 | 0.0-200.0 μS/cm范围 | ± 0.5% 满量程内 | |
| 0.0-200.0 μS/cm范围 | 0-2000 μS/cm范围 | |||
| 0-1000 μS/cm范围 | 0 至 10000 μS/cm 范围 | ± 1.0% 满量程内 | ||
| 温度 | ±0.5℃以内 | |||
| 任意浓度 | 等效输入 | |||
| 传输输出 | 输出点数:4点 DC4~20mA / 0~20mA 输入/输出绝缘 型 *负载电阻:900Ω 变送输出范围:可在测量范围内任意设定 (各变送输出负端内部连接相同的潜力) | |||
| 接点输出 | 输出点数:5点 报警接点输出(R1~R4) 接点类型:继电器接点、SPST(1a) 接点容量:AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A(电阻负载) 接点功能:各测量对象之上, 下限动作(ON/OFF控制), 延迟时间 触点动作: 动作时间, 正常时间(包括断电) 开路 (但是, R1, R2, R3 为通用触点COMMON) 报警触点类型: 继电器触点, SPST ( 1c) 接点容量:AC 240 V 1 A,DC 30 V 1 A(阻性负载) 接点功能:从错误、错误报警、维护中选择 接点动作:在C和NO之间使用时,常闭、异常(包括断电) ) ) 开路 (C 和 NC 之间的触点状态相反) (但是 R4 和 RF 是公共触点 COMMON) | |||
| 触点输入 | 输入点数:1点 | |||
| 输入形式:集电极开路无电压a接点 | ||||
| 接点功能:传送输出保持 | ||||
| 通讯输出 | RS-485 输入/输出 | |||
| 校准功能 | 通过输入电导池常数的校正系数(参数输入) 与温度参考温度计进行比较校准 | |||
| 传输输出保持功能 | 从先前值保持和任意值保持中选择 (但是,在维护模式下,使用先前值保持)。 | |||
| 自诊断功能 | 传感器诊断(温度传感器短路、温度传感器断线) 转换器错误 | |||
| 电导温度补偿 | 任意温度系数输入(参考温度:5~95℃,温度系数:0~5%/℃ 任意温度补偿类型输入(补偿类型由用户设定) 无温度补偿 | |||
| 温度补偿范围 | 0至100°C(但是,0°C以下,100°C以上扩展计算) | |||
| 环境温度 | 5至45°C | |||
| 相对温度 | -25 至 65°C | |||
| 电源供应 | 额定电压 DC24 V 10 W(*) | |||
| 建造 | 面板安装 室内安装型 面板外壳:ABS、端子部:PBT 面板部防滴结构 | |||
| 符合标准 | CE标志 | EMC指令:EN61326-1 | ||
| 联邦通信委员会规定 | 联邦通信委员会第 15 部分 | |||
| 大量的 | 约550克 | |||
| 外形尺寸 | 96 (W) x 96 (H) x 115 (D) mm 表壳深度:约 105 mm(安装在面板上时) | |||
| 合格传感器 | FS-09F-1 / 2 | |||
可滚动的
| 格式 | FS-09F-1 / 2 | FS-09F-1 / 2-200 |
|---|---|---|
| 液体纠缠材料 | 玻璃碳 PFA Calletz® | |
| 配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
| 样品流速 | 0~10L/min 流量不受影响,但需要确保样品液和温度更换所需的流量。 | |
| 样品压力 | 0-0.3MPa 然而,20-30℃ | |
| 样品温度 | 如果环境温度与液体温度相差5 ℃ ,就会出现1℃左右的测量误差。 | |
| 电缆长度 | 约3.5m | |

