华海清科股份

来源：岩濑（天津）国际贸易有限公司
发布时间：2023-05-05 16:58:28
天津华海清科机电科技有限公司（简称“华海清科”）是天津市政府与清华大学为促进推动我国化学机械抛光（简称CMP）技术和设备产业化而合资成立的有限责任公司。公司座落于天津市津南区海河科技园内，公司从筹备到成立，得到了天津市各级政府和清华大学的全力支持。

清华大学研发团队通过*科技重大专项“极大规模集成电路装备与成套工艺”（简称02专项）项目“低下压力CMP系统研制及工艺开发”的实施，已掌握了低下压力CMP设备及工艺的关键技术，并*研制出国内首台用于铜制程抛光的300mm晶圆“干进干出”CMP设备，初步具备产业化能力。 

华海清科注册资本6000万元人民币，公司拥有清华大学的CMP设备核心技术与骨干团队，通过资源整合、人才引进，成为一家拥有核心技术和强大研究团队的高科技公司

产品与服务：
Universal-300 Plus是根据市场需求研发的*12英寸CMP设备，具有四个抛光单元和单套清洗单元，集成多种终点检测技术，可以满足45~130nm Oxide/STI/Poly/Cu/W CMP等各种工艺需求。
Universal-300 T是在300 X机型基础上搭载了更*的组合清洗技术，展现更*的清洗效果，可以满足28nm以下逻辑工厂以及1xnm存储工厂Oxide/ SiN/STI/Poly/Cu/W CMP等各种工艺需求




以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，仪器仪表交易网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

上一篇： 琼中县房屋安全性鉴定机构联系方式
下一篇： 江门市ABB框架断路器工作原理/...

推荐资料