真空泵基础知识
来源：深圳市京都玉崎电子有限公司
发布时间：2025-09-11 19:22:03
真空度有低、中、高等多种等级，需要根据所需的真空度、达到真空所需的时间、使用的温度环境等来选择合适的真空泵。根据是否使用油，真空泵分为干泵和湿泵。
真空泵应用
真空泵广泛应用于医疗设备和制造工艺、食品工厂、电气设备以及半导体制造工艺。此外，真空泵还被用作医疗设备和理化设备等需要真空的设备的辅助设备。目前已开发出10多种不同的真空泵原理，需要了解每种原理的特性才能选择合适的真空泵。
真空泵的主要用途有：
牙科治疗用唾液抽吸装置
在保温瓶中制造真空
在半导体工艺中使用等离子体时创建真空环境
粘合食品包装材料时
实验室设备的真空源（蒸发器、过滤器、真空干燥器、干燥器等）
工厂生产设备用大容量真空泵
真空泵原理
真空泵根据其工作原理进行分类，下面介绍*代表性的泵的工作原理。
1.油旋片真空泵
油回转真空泵是利用旋转的转子将吸入的空气排出的真空泵，是使用油来提高气密性的湿式泵的称。也被称为旋转真空泵。
泵的种类繁多，包括旋片式油回转真空泵、凸轮式油回转真空泵和摆动活塞式油回转真空泵。连接转子、凸轮和活塞的摆动部件的形状以及与空气接触的部件各不相同，但所有类型的泵都是通过转子旋转排出空气来产生真空的。
由于使用油，油的蒸汽压是真空的极限，但油可实现稳定的性能，并且使用小型装置即可轻松实现中等真空。
2.油扩散真空泵
油扩散真空泵由锅炉、喷嘴和冷凝器组成。油在锅炉中被加热成蒸汽，然后以音速通过喷嘴喷射，将泵内的空气分子从排气口排出。蒸发后的油在冷凝器中变成液态油并被重新利用。
3.旋片式干式真空泵
旋片式干式真空泵是一种利用旋转的转子和叶片从吸气口吸入空气，然后将其排出的真空泵，不使用油。由于无法防止空气回流，因此只能达到低真空状态，但可以实现较高的排气速度。
4.摆动活塞式干式真空泵
摆动活塞式干式真空泵是利用与偏心旋转轴连接的活塞将空气推出来排气的真空泵。由于其结构上的原因，无法防止空气回流，因此仅限于低真空状态，但维护方便。
5.隔膜式干式真空泵
隔膜泵（膜片泵）是一种利用橡胶、树脂或金属等材料制成的隔膜的往复运动与止回阀相结合来输送流体的泵。用作真空泵时，由于使用了止回阀，因此无需使用油来保证气密性，因此可以作为干式泵使用。泵通过往复运动，反复从需要形成真空的一侧吸入空气并将其排放到大气中，从而形成真空。
6.涡旋式干式真空泵
涡旋式干式真空泵是一种利用涡卷状定子和转子的运动来排气的干式真空泵。涡卷运动将空气吸入中心，再从中心排出。
7.涡轮分子泵
涡轮分子泵是一种涡轮形状的干式真空泵。它通过使涡轮叶片以接近分子热运动的高速旋转来进行真空排气，并根据涡轮叶片的倾斜度使分子运动产生偏向。为了使涡轮叶片能够高速旋转，必须在一定的真空度下使用，因此经常与其他真空泵组合使用。
如何选择真空泵
选择真空泵时，要根据达到的真空度、抽气时间、抽气量等来确定泵的类型，真空度有低、中、高之分，每种真空度都有适合的真空泵。
1. 低真空真空泵
对于低真空，有隔膜干泵、摆动活塞干泵和旋片干泵。隔膜干泵没有旋片干泵那样的滑动部件，因此不会因搅拌而产生细小颗粒，可以获得清洁的真空。摆动活塞干泵结构简单，易于维护。旋片干泵可以获得高排气速度。
2.中型真空泵
对于中等真空应用，有涡旋泵和油回转泵两种类型。许多涡旋泵通过两级压缩来确保效率，并且振动和噪音较低。顾名思义，油回转泵效率高，并且由于采用油润滑和密封，具有良好的真空稳定性。
3.高真空泵
在高真空用途中，有利用两个旋转转子进行吸入和压缩的罗茨式（机械增压）真空泵、由多台罗茨泵组合而成的多级罗茨真空泵，以及结构简单、排气速度快的油扩散真空泵。此外，还有涡轮分子泵和低温泵等用于高真空用途的泵。
由于真空泵的种类繁多，因此了解它们的特性和特点并选择适合您应用的真空泵非常重要。
真空泵的使用方法
在使用真空的设备中，会根据达到的真空度和抽真空时间来选择真空泵。但是，由于真空度越高，抽真空速度越慢，而且有些高真空泵无法在大气压下使用，因此有时会组合使用真空泵，而不是单独使用。
例如，通过切换“排气速度快的低真空泵”和“高真空泵”并一起使用或同时使用，即使在高真空下也能达到一定的排气速度。
具体的例子是先用油旋转泵将真空抽至低真空范围（粗抽），然后再切换到机械增压泵将真空抽至高真空（*终抽真空）的方法。
此外，可将两种真空泵连接在一起，通过中/低真空泵在大气压力下使用高真空泵。
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