line; touch-action: manipulation; position: relative; white-space: normal; padding-top: 40px !important; padding-bottom: 40px !important; text-align: center !important;">紧凑型气体分析系统 C 系列

“紧凑型气体分析系统C系列”充分利用了佳能ANELVA在处理各种气体分析方面长年积累的气体分析技术。＆紧凑型气体分析系统。如果您已经拥有滤质器，您也可以订购不带分析管的产品作为气体分析的售后排气装置。

特征：

1. 可灵活定制
   通过选择基本配置（排气系统+滤质器）并选择并添加考虑到各种应用而预设的选项，您可以为您的应用创建*的系统配置。

2. 节省空间
   可安装在宽 480 毫米 x 深 500 毫米的节省空间中。

3. 操作简单
   简单的同时标配了基本的互锁功能，让您可以放心使用。

用途：

line; touch-action: manipulation; white-space: normal;">用于研究和开发目的的气体测量

• 炉气分析、监测真空
  热处理炉、真空渗碳炉、真空渗氮炉、金属熔化炉、生物气化炉、电子束
  熔炼炉（EB炉）、晶圆拉制炉等。

• 程序升温解吸气体分析

• 催化反应气体分析

line; touch-action: manipulation; white-space: normal;">工艺设备的气体分析

• 真空设备中的过程气体测量

• 真空设备中的残余气体测量/泄漏检测

• line; touch-action: manipulation; white-space: normal;">基本规格

• 型号名称	M-070GA-CRFY	M-101GA-CRFY	M-101GA-CRMY	M-201GA-CRMY
  四极杆分析仪	M-070QA-TDF	M-101QA-TDF	M-101QA-TDM	M-201QA-TDM
  质量数范围	m/z=1～70	m/z=1～100		m/z=1～200
  检测灵敏度	100 ppm		10 ppm
  极限压力	1×10 -5 Pa以下
  软功能	四维2 Win7
  电源	交流100V 1.0KVA

• line; touch-action: manipulation; white-space: normal;">基本组件清单

• 排气系统 （2种）	M-001GA-CR （RP规格）	M-001GA-CD （干泵规格）

• 四极杆质谱仪 （7种）	M-070QA-TDF	M-101QA-TDF(Y)	M-101QA-TDM(Y)	M-201QA-TDF(Y)
  		M-101QA-TDF(W)	M-101QA-TDM(W)	M-201QA-TDF(W)

• line; touch-action: manipulation; white-space: normal;">组合示例

• 测量应用			选项示例		基本配置示例
  应用类型	细节	压力范围	介绍系统	其他的	型号名称
  残余气体测量 /过程测量	用于检查真空设备室的状况（维护后的残留水分、检查是否泄漏等）	10 -4至 10 Pa	气体引入系统1,2	高真空计	M-070GA-CRFY
  高灵敏度 过程测量	薄膜沉积设备等真空设备的工艺室内混入微量的杂质气体。	10 -5 ~ 1 帕	气体导入系统3	高真空计 加热器	M-101GA-CDMY
  程序升温解吸气体分析	测量样品加热过程中释放的气体类型和量及其温度依赖性等。	10 -2 ~ 大气压	气体引入系统 3,4 气体引入系统 5,6	高真空计 加热器	M-201GA-CRMY
  真空炉气体分析	研究加热炉内释放气体种类和数量的温度依赖性、加热过程中杂质气体的监测等。	10 -2 ~ 大气压	气体引入系统3,4	高真空计 加热器	M101GA-CRMY
  常压反应器气体分析	研究加热炉内释放气体种类和数量的温度依赖性、加热过程中杂质气体的监测等。	0.05MPa～0.25MPa	气体引入系统5,6	高真空计 加热器	M-201GA-CRMY
  催化反应气体分析	对通过催化剂后的气体进行分析，以确认催化剂材料的有效性等。	0.05MPa～0.25MPa	气体引入系统5,6	高真空计 加热器	M-2