日本原装EBARA荏原EV-S20干式真空泵

干式真空泵通过机械运动直接压缩和排出气体，无需液体介质，避免油污染问题。其核心结构类型包括：

螺杆式双螺杆结构：一对等速反向旋转的螺杆转子，通过阿基米德螺旋线与摆线轮廓设计形成密闭腔体，实现气体的连续吸入与排出‌13。

间隙控制：螺杆与泵腔保持微米级间隙，减少摩擦损耗，支持高转速运转（可达6000 rpm），提升抽气效率。

‌多级罗茨式‌‌多级串联设计‌：采用多级罗茨叶片转子，通过逐级压缩提高极限真空度（可达10⁻² Pa），适用于含粉尘或腐蚀性气体的环境‌56。

‌无接触啮合‌：转子间无物理接触，通过同步齿轮驱动，降低磨损并延长使用寿命。

涡旋式动静涡旋盘啮合：通过渐开线型涡旋盘形成连续压缩腔，实现无油、低振动运行，极限真空度达10⁻¹ Pa，适用于实验室和小型设备。

二、性能优势与创新技术

‌无污染与耐腐蚀性‌采用全密封结构（如陶瓷涂层、不锈钢材质），防止润滑油进入泵腔，确保半导体制造、食品加工等场景的洁净度‌34。

特殊防腐处理（如镀镍或PTFE涂层）的泵体，耐受酸性气体（如Cl₂、H₂S）和有机溶剂。

智能控制与能效优化‌集成变频调速系统，根据负载动态调节电机功率，能耗降低20%以上。

传感器实时监测温度、振动等参数，结合物联网技术实现远程故障预警和维护提示。

模块化与扩展性支持多级串联或并联，抽速范围覆盖10–1000 m³/h，可适配不同真空需求（如半导体前级泵需搭配分子泵使用）。

快速拆卸设计，更换核心部件（如转子、密封件）耗时缩短至2小时内，减少停机损失。