山西省朔州市电子厂无尘车间洁净等级标准-安衡检测

山西省朔州市电子厂无尘车间洁净等级标准--安衡检测

微生物*允许数（每立方米）：浮游菌数不能出500个；菌数不能出10个每培养皿。压差：相同洁净度等级的洁净车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净车间之间压差要≥5Pa，洁净车间与非洁净车间之间要≥10Pa。

风速：测定室内微风速仪器的小刻度或读数不应大于0.02m/s，一般可用热球式风速仪，需要测出分速度时，应采用超声波三维风速计。对于单向流洁净室，可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，垂直单向流洁净室的测定截面积取距地面0.8的无阻隔面（孔板，格栅除外）的水平截面，如有阻隔面，该测定截面应抬高至阻隔面之上0.25m；水平单向流洁净室取距送风面0.5m的垂直于地面的截面，截面上测点间距不应大于1m，一般取0.3m。测点数不应少于20个，均匀布置。

电子厂无尘车间洁净等级标准  目前对于大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点：1、大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法，在保证产品质量的同时，还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。

因为净化工程的检测主要关注两种粒径，即0.5um和5um。等速采样对≤0.5um的颗粒影响不大。如果采样空气用于计算大于或等于 0.5um 的粒径浓度，如果这些粒子不受等速条件的影响，则计算结果不受影响。因此洁净室区域非等速采样只对大于等于0.5um的颗粒有意义。

空气悬浮粒子：1.任何洁净区内取样点应不少于两个；2.除洁净区的设备限制外，取样点应在整个洁净区均匀布置；3.在一个区域内应少取样五次，每个取样点的取样次数可多于一次，不同取样点的取样次数可以不同；为了确定A级区的级别，每个采样点的采样量不得少于1m3。4.取样点一般布置在距地面0.8~1.5m之间或操作台的高度；5.尽量避免在回风口附近取样，而且测试人员应站在取样口的下风侧。

因为在过于干燥的厂房内容易产生静电，会损坏CMOS集成度。一般来说，电子车间的温度应控制在22℃左右，相对湿度应控制在50-60之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。此时，能有效消除静电，让人心情舒畅。芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间是电子制造洁净室的重要组成部分。

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