ULVAC爱发科 机械增压泵 MBS-053

ULVAC爱发科 机械增压泵 MBS-053

ULVAC爱发科 机械增压泵 MBS-053

机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。

通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用，在粗抽泵抽速下降的压力范围内，可以显著提高粗抽泵的抽速。

应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

通用型机械式增压泵

罗茨型 / 有效排气速度显示 / 具有各种保护功能

长处

这是一种小型罗茨型真空泵。

在辅助泵抽速降低的压力范围内，可以显著提高抽速。

通过采用直流无刷电机，它可以从大气压中排出真空，因为它根据负载以*转速运行。

磁耦合结构确保油不会泄漏到泵外部。

泵内部的密封采用非接触式密封，大大减少了机械损失。

（与以前的型号相比，功耗降低了约 60%）

通过切换驱动器盒内的电源，可以在 100V 和 200V 系统下运行。

规范

用法说明

1机械增压泵不能单独使用。 请务必将其与辅助泵组合使用。

2机械增压泵专为在线使用而设计。

将法兰固定在排放侧，并将泵安装在该法兰上。

3如果长时间未运行，在初次运行中，润滑油在启动时会起泡，因此请使用辅助泵排气进行脱气。

4在大气压附近运行与辅助泵的抽速大致相同，因此增压泵的特性不显现。

5当润滑油量过规定量时，油会进入转子室内部。

6请务必检查电源电压是否与泵的设定电压相匹配。

7它没有配备用于安装泵的底座。 法兰是固定的。

8它没有配备用于携带泵的手柄。

9电源线和应力消除装置是可选的。

10消耗品需要定期维护。