硅片电镀实验室设备套件B-85WJ

硅片电镀实验室设备套件

这是一套用于2~12英寸硅片的电镀设备。 通过使用夹具，可以对半导体和MEMS进行电镀。

长处

• 水族箱的结构可以从水箱底部产生温和的对流，并在不断过滤的同时溢出。

• 有单面溢流式和双面溢流式，可实现高速搅拌。 桨式搅拌用于直接搅拌。

• 它也可以用作生产设施。

• 在日本和海外已经获得了多项，其他几项正在申请中。

基板材料

它不仅可用于硅晶圆，还可用于由碳化硅、玻璃、砷化镓和铟等材料制成的基板。

关于定制生产

根据标准设备，可根据客户的先生/女士定制形状的夹具和双面电镀夹具。
我们还拥有制造设备的记录，例如阳极氧化和阳极氧化夹具。
有不同类型的夹具，例如全封闭夹具、非密封夹具和卧式夹具，因此请使用查询表与我们联系。

设置细分

A-52-ST□AWJYPPA硅晶圆电镀实验室设备组WJ型（用于YPP电源）

（*1） 请从 Orifra 类型/缺口类型中选择。 也有密封/吸入密封类型。
（*2） 不溶性阳极也可提供隔膜类型。
（*3） 产品编号上的□标记包含英寸数。
这是一套用于 YPP 电源的电源。 电源、温度控制器和阳极板单独出售。 请分别电源 A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D。 PC 单独出售。

强搅拌水箱（双面溢流式，搅拌速度约2倍）

通过减少一侧到两侧的溢流，桨叶搅拌速度已提高到* 130 rpm。 液体的混合效率提高，镀层更稳定。 此外，还增加了防溅液体结构。

• 它目前是定制产品。 请联系我们了解尺寸和规格。

• 根据镀层的类型和尺寸，我们可能会提出三面溢流型。