BROOKS 布鲁克斯 流量计 GF126
来源：北崎国际贸易（北京）有限公司
发布时间：2024-08-06 10:49:01
GF100系列金属密封热式质量流量控制器/流量计
长处
长期零点稳定性：小于 0.5% 满量程/年
建立时间：300 ms - <700 ms 或 700 ms - <1 秒
满量程流量高达 300 slpm
金属密封流路：4 μ 或 10 μ Ra 表面光洁度选项
耐腐蚀的哈氏合金 ® T-Rise 传感器即使在高温下也能提高测量的可重复性
MultiFlo™ 允许您对气体和量程进行编程 — 在单个设备中支持数千种气体类型和量程组合，而无需断开气体管线或牺牲精度
本地显示
可选的 SDS 气体供应
DeviceNet，RS-485™ L-Protocol，模拟接口
高性能组件，经过持续测试，符合半导体行业标准的可靠性
耐腐蚀的全金属流路，减少了表面积和边缘体积，从而减少了吹扫过程中的干燥时间
MultiFlo™ 允许在不到 60 秒的时间内设置新的工艺气体和/或范围，而无需移除或重新校准 MFC
高度可配置的平台，用于意外更换或升级金属密封 MFC，包括 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 等
GF120 安全输送系统 （SDS®） 是 Brooks *的低压降质量流量控制器，用于植入和蚀刻工艺中使用的亚大气压 SDS 气体输送。
易于设备安装、监控和故障排除，具有方便的用户显示和独立的诊断/服务端口
半导体蚀刻工具
薄膜化学气相沉积（CVD）系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理气相沉积 （PVD） 系统
外延工艺系统
优点
用途
规格
| GF100 | GF101 | GF120 | GF120 | GF120XSL | GF120XSD | GF121 | GF125 | GF126 | |
| 差异化优势 | 高纯度 | 高纯度 高流速
| 高纯度 快响应时间
| *流量范围 久经考验的可靠技术 | SDS气体输送 | SDS气体输送 | 高纯度 高流速 | 高纯度 快响应时间 压力瞬态不敏感 | 高纯度 高流速 压力瞬态不敏感 |
| 流量范围（满量程容量） | 3 SCCM - 55 SLM | 55 SLM - 300 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | >25 SCCM - 1 SLM | 4 - 25 SCCM | 55 SLM - 300 SLM | 3 SCCM - 55 SLM | 55 SLM - 300 SLM |
| 表面光洁度 | 10μ 英寸 Ra | 10μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra | 4μ 英寸 Ra |
| 精度 | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% | ±1% 标准价 > 35-* ±0.35% F.S. 2-35% |
| 再现性 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 | < ±0.15% 标准股 |
| 响应时间 | 常闭 <1 秒 | 常闭 <1 秒 | 常闭 700 毫秒 | 常闭 700 毫秒 | 常闭 <3 秒 | 常闭 <3 秒 | 常闭 <1 秒 | 常闭阀 300ms（3-860 sccm N2 等式） 400ms（861-7200 sccm N2 等式） 500ms（7201-30000 sccm N2 等式） <700ms（30001-55000 sccm N2 等式）
| 常闭阀 <1 秒
|
| 响应时间 - 否 | 常开 <1.5 秒 | 常开 — | 常开 <1.5 秒 | 常开 <1.5 秒 | 常开 — | 常开 — | 常开 — | 常开阀 <1.5 秒 | 常开阀 — |
| 多气体多量程 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | — | — | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 | MultiFlo™ 标准版 |
| 供气压力波动容限/背压波动容限（稳定） | — | — | — | — | — | — | — | ±5% S.P. 高达 5 psi/sec 上游压力机。 穗 | 能够测量入口压力 |
| 诊断能力 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 | 状态指示灯 - MFC 运行状况、网络状态 警报 - 控制阀输出、网络中断 | 状态指示灯：MFC 运行状况和网络状态 警报：控制阀输出和网络中断 |
| 模拟通信 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 | 0-5 伏直流电 |
| 数字通信 | RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™
| RS485 L协议 设备网络™ | RS485 L协议 设备网络™ |
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