A11VO40LR/10R-NTC12N00柱塞泵

A11VO40LR/10R-NTC12N00柱塞泵柱塞泵的工作原理

   柱塞泵是液压系统的一个重要装置。它依靠柱塞在缸体中往复运动，使密封工作容腔的容积发生变化来实现吸油、压油。柱塞泵具有额定压力高、结构紧凑、效率高和流量调节方便等优点，被广泛应用于高压、大流量和流量需要调节的场合，诸如液压机、工程机械和船舶中。

   柱塞泵是往复泵的一种，属于体积泵，其柱塞靠泵轴的偏心转动驱动，往复运动，其吸入和排出阀都是单向阀。当柱塞外拉时，工作室内压力降低，出口阀关闭，低于进口压力时，进口阀打开，液体进入;柱塞内推时，工作室压力升高，进口阀关闭，高于出口压力时，出口阀打开，液体排出。当传动轴带动缸体旋转时，斜盘将柱塞从缸体中拉出或推回，完成吸排油。
A11VO40LR/10R-NTC12N00柱塞泵A11VO40LR/10R-NTC12N00
产品型号:
A11VO40LRS/10R-NSC12N00

A11VO40LRS/10R-NPC12N00

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A11VO40LRH2/10R-NPC12N00

A11VO40DRS/10R-NSC12N00

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A11VO60LRS/10R-NSC12N00

A11VO60LRS/10R-NPC12N00

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A11VO95LRH2/10R-NSD12N00

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A11VO95DRS/10R-NSD12N00

A11VO95DRS/10R-NPD12N00

A11VO95DRS/10R-NSD12K01

A11VO95DRS/10R-NPD12K01

A11VO130LRS/10R-NSD12N00

A11VO130LRS/10R-NPD12N00
AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前的说法是控制在亚pptm～1pptm间。

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