ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1200A
来源：高斯摩（成都）国际贸易有限公司
发布时间：2025-07-03 16:01:22
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1200A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1200A
涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。
涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。
与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。
这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
这是一款带有集成控制器的涡轮分子泵，该控制器使用磁浮轴承。
泵体和控制器的集成节省了布线和空间。
长处
泵体与控制器一体化，
泵体与控制器之间无需繁琐的布线。
自由安装方向 由于对
安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。
产品阵容包括抽速 1000L/s ~ 3000L/s 级。
适用于轻型工艺的广域高流量设计
可在泵速的 25 ~ * 范围内改变变
速，并可调节腔室压力。
高耐用性和安全性 它已通过各种安全确认测试，例如
大气进入测试和着陆测试。
用
各种设备的
真空主排气系统 - 半导体制造设备
- 气相沉积设备
- 溅射设备
- 分析设备，实验室设备等
- 研发设施
轻工艺主排气系统，无副反应产物
用油扩散泵更换设备
其他高真空排气应用
| 型 | UTM1200A | UTM1600A | UTM2300A | UTM3400A | ||||||||
| 进气口 | VG150型 | ISO160F | VG200 系列 | VG250 系列 | ISO200F | ISO250F | VG250 系列 | ISO250F | VG300 系列 | VG350型 | ISO320F | |
| 排气口 | 肯氟烃40 | |||||||||||
| 极限压力 *1 | 10-7 帕 | |||||||||||
| 抽速 *2*3 | 注 2 | 1030 升/秒 | 1400 升/秒 | 2100 升/秒 | 3200 升/秒 | |||||||
| 氦气 | 980 升/秒 | 1330 升/秒 | 2000 升/秒 | 3100 升/秒 | ||||||||
| H2 系列 | 660 升/秒 | 750 升/秒 | 1380 升/秒 | 2100 升/秒 | ||||||||
| 压缩比 | 注 2 | 2×108 | 1×108 过 | 1×109 过 | ||||||||
| 他 | 7×103 | 5×103 | 1×105 | |||||||||
| H2 系列 | 8×102 | 9×102 | 6×103 | |||||||||
| *入口压力 *4 | 26 帕 | 4.5 帕 | 7 帕 | |||||||||
| *排气口压力 *4 | 266 帕 | 200 帕 | 270 帕 | |||||||||
| 转速 | 37200 分钟-1 | 33700 分钟-1 | 27600 分钟-1 | |||||||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵规定转速的 25% ~ * 之间变化。 （设置以 0.1% 为增量） | |||||||||||
| 启动时间 | 8 分钟或更短 | 9 分钟或更短 | 16 分钟或更短 | |||||||||
| 安装方向 | 可全向安装 | |||||||||||
| 表面处理 *5 | 没有 | |||||||||||
| 外部控制 |
远程 接口 |
D-sub 25 针母触点输入/输出 | D-sub 37 针母触点输入/输出 | |||||||||
|
串行 接口 |
圆形连接器 RS232C/RS485 | D-sub 9 针公头 RS232C/RS485 | ||||||||||
| 控制器 | 配置 | 与泵体集成（内置于底部） | ||||||||||
| 权力 | 单相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | |||||||||||
| *功率要求 | 0.75千瓦 | 1.2千伏安 | ||||||||||
| 冷却方式 | 水冷式 | |||||||||||
| 冷却水 *6 | 流量 | 3~4 升/分钟 | ||||||||||
| 水压 | 0.2 ~ 0.4 MPaG | |||||||||||
| 噪声 | 57 分贝（A） | 60 分贝（A） | ||||||||||
| 质量 | 43 千克 | 41 千克 | 56 千克 | 94 千克 | ||||||||
| 辅助泵 *7 | 600L/min 或更高 | 1500L/min 或更高 | ||||||||||
| 法规遵从性 | CE、TUVus | |||||||||||
| 标准配件 | 进气口 O 形圈（仅限 VG）、排气口防尘帽、遥控器连接器、使用说明书 （CD-ROM） | |||||||||||
| 选型规格 | 交流电缆 | 交流连接器/交流电缆 （5m/10m/15m/20m） | ||||||||||
| 用于固定泵的特殊螺栓 | M10/M12 系列 | |||||||||||
| 您需要一个特殊的螺栓来固定泵吗？ | 必需 （M10） *8 | 不需要 *8 | ||||||||||
| 可选配件 | 气口适配器：KF10 | |||||||||||
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