日本Canon anelva气体监测仪 M-080QA-HPM
来源：深圳京都玉崎电子有限公司
发布时间：2023-11-07 10:09:56
line; touch-action: manipulation; position: relative; white-space: normal; padding-top: 40px !important; padding-bottom: 40px !important; text-align: center !important;">四极杆质谱仪过程气体监测仪 M-080QA-HPM
M-080QA-HPM是一款四极杆质谱仪，可在10 -9 Pa 至 1.3 Pa 的宽范围内运行。我们的技术使我们能够使用同一台仪器测量高真空和溅射过程中的压力区域。由于可以监控成膜过程中的气体，因此可以检测气体异常和泄漏等问题，并可以防止因工艺异常而导致的产品缺陷。
特征:
无缝测量从室极限压力到溅射工艺压力
成膜时可高灵敏度检测氢
维护周期长、运行成本低
通过各种报警功能检测生产过程中的异常情况
作用：
成膜过程中的质量控制
残余气体分析
泄漏检查
| 型号名称 | M-080QA-HPM | ||
|---|---|---|---|
| 基本性能 | 测量质量数范围 | 1-80m/z | |
| 运营压力 | 1.3Pa以下 | ||
| *低检测浓度 | 5 ppm（不包括H2），H2 ：100 ppm以下 | ||
| 灵敏度 （N2 ） | F.C. | 7.5×10 -9 A/Pa以上 | |
| 扫描电镜 | 7.5×10 -5 A/Pa以上 | ||
| 解决 | ＜ 1 amu @10% 峰高 | ||
| 规格 | 灯丝 | 1 瓶氧化钇涂层铱 | |
| 烘烤温度 | 250℃（仅分析管） | ||
| 连接法兰 | φ70ICF | ||
| 额定输入电压 | AC100V至AC240V | ||
| 大量的 | 分析管 | 1.1公斤 | |
| 控制器 | 2.2公斤 | ||
| 通讯接口 | RS-232C/485 | ||
| 控制软件 | QUADVISION3 兼容 Windows7、8.1、10 | ||
深圳市京都玉崎电子有限公司专做日本进口产品，包含不限于特殊光源、计测工具、科学仪器、机械加工备品、环境试验设备、PC周边工具等
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优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
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