VAT摆式隔离阀Series 168

产品名称：VAT摆式隔离阀Series 168

产品型号：16852-JA24

产品介绍

168 大型 HV 摆式隔离阀即使在恶劣的工艺条件下也能提供可靠的隔离性能。它非常适合大流量应用中的隔离要求，例如大型涂层或显示器生产系统。因此，它提供 DN 400 和 500mm 两种规格。168 阀门提供可选的 3 位气动或标准气动，均为双作用。

凭借其特殊的分体式设计，无需拆卸管道连接或工艺室连接即可进行维护。其纤薄的设计允许将 168 直接安装到制程腔体，从而消除了例如腔室 - 阀门 - 泵连接中通常需要的体积。

凭借其坚固的设计以及多种设计选项，168 系列易于集成到各种真空工艺中。

168系列已在全球数百个批量和在线生产系统中安装在各种工艺条件下，已在各个方面证明了其性能。

性能特点

l 大真空量的可靠隔离

l 在恶劣条件下也能提供可靠的性能

l 采用狭缝式机身设计，维护快捷方便

l 正常运行时间长

l 运营成本低

l 可根据工艺要求进行调整

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