NFK 嵌入式薄膜厚度在线监测器

一、产品概述

嵌入式薄膜厚度监测器是面向自动化镀膜、半导体连续产线开发的设备集成式在线测厚单元，搭载宽波段光谱干涉检测光路，可针对具备波长相关性的多层复合薄膜实现全程高精度实时测量，整机标准工控机箱尺寸，支持直接嵌入 CVD、PVD、光学镀膜自动化产线，实现无间断在线工艺闭环管控。

二、核心检测原理

采用多通道并行光谱干涉检测技术，光纤探头实时采集薄膜体系全波段反射光谱，依托内置多层膜光学拟合算法，*解析多层膜各层厚度、折射率、消光系数；针对不同波长下薄膜光学特性差异做补偿运算，解决传统设备多层膜、波长相关涂层拟合失真难题，全程非接触无损在线监测。

三、核心硬件与结构优势

1. 标准工控嵌入式机身，产线无缝集成工业标准机架式机箱，适配自动化设备控制柜、镀膜机腔体侧装工位，自带数字通讯接口，可直接对接 PLC、上位机 MES 系统，实现产线数据联动、工艺自动调节。

2. 多层膜高精度拟合，适配波长相关复杂涂层内置多膜层光学模型，可*解析堆叠复合薄膜，针对不同波长下薄膜光学常数变化做算法补偿，解决传统设备多层膜测量误差大、无法区分波长相关性涂层的痛点。

3. 分体光纤探头布局，适配密闭真空腔体主机与检测探头分离式设计，探头可通过 KF 真空管件接入高温、负压真空腔体，主机放置于设备外侧常温控制柜，规避高温、粉尘对核心光路的损耗。

4. 24h 连续稳定在线监测整机工业级抗振动、宽温域元器件，长时间不间断运行基线无漂移，实时输出膜厚数据、光谱曲线，产线膜厚异常自动报警，杜绝批量不良品。

5. 全数字化数据交互支持 RS485、以太网、Modbus 等工业通讯协议，实时上传膜厚、光学常数、光谱原始数据至产线控制系统，可用于工艺参数自动修正、质量数据全流程溯源。

四、核心功能

1. 在线实时监测多层复合薄膜厚度与光学常数，适配波长相关特殊涂层高精度检测；

2. 嵌入式工控集成设计，接入自动化镀膜、刻蚀产线实现闭环工艺管控；

3. 真空腔体外置光纤探头检测，无需破真空即可实时采集膜厚数据；

4. 膜厚差自动预警，联动产线设备调整镀膜功率、沉积速率；

5. 全时段数据存储导出，满足半导体、光伏行业工艺追溯、品质审核要求。

五、典型应用场景

1. 半导体产线：连续式 PVD/CVD 镀膜设备、晶圆刻蚀、钝化工艺在线膜厚监控；

2. 光学薄膜行业：多层增透膜、分光膜、高反膜沉积产线实时厚度监测；

3. 光伏自动化设备：制绒、ITO 导电膜、钝化层连续生产线在线质检；

4. 真空镀膜设备：蒸镀、溅射设备密闭腔体嵌入式实时测厚单元。

六、配套搭配方案

搭配 V-KF 系列 KF 真空光纤波纹管、KF 法兰转接接头、FLUORO 真空采样管路、MCPD 系列光谱采集模块，组成完整真空产线嵌入式在线膜厚监测系统。

七、同系列膜厚设备选型区分

表格

型号类型	安装形式	适用场景
FE-300F	台式一体化离线款	实验室、小型产线离线抽检、单 / 双层膜基础检测
OPTM 系列	台式显微微区款	研发实验室微小区域薄膜高精度分析
SM-100	手持便携款	产线工位现场离线随机抽检
嵌入式监测器	机架式工控嵌入款	自动化连续产线、真空腔体 24h 不间断在线闭环监测

八、使用注意事项

1. 真空腔体配套光纤探头需搭配 KF 金属密封垫圈，橡胶密封件不可用于高温烘烤腔体；

2. 光纤探头避免大幅度弯折、挤压，防止光路损耗增大导致测量精度下降；

3. 设备通讯端口做好电磁屏蔽，产线变频器、电机易产生电磁干扰区域增加屏蔽线缆；

4. 定期使用标准薄膜校准片做整机精度，保障长期在线测量稳定性。