MCPD 系列 多通道光谱仪薄膜厚度测量

一、产品述

MCPD 系列多通道光谱仪是面向薄膜检测、半导体、光学光源、色彩质检领域的多功能并行光谱采集设备，依托多通道同步分光光路，实现紫外 - 可见光 - 近红外全波段毫秒级全谱采集，搭配标准光纤接口可拓展显微、反射、透射、真空等多类测量模块，配套*分析软件可完成薄膜厚度拟合、光学常数解析、色彩评估、光源光谱，是膜厚检测系统的核心信号采集主机。

二、核心硬件参数

1. 光谱性能

• 波段覆盖：紫外 UV ~ 可见光 VIS ~ 近红外 NIR 完整连续光谱

• 采集速度：单次全光谱测量仅 5ms，支持 24h 连续高速在线检测

• 光路结构：多通道并行分光光栅，高信噪比，弱信号样品无失真

• 信号输出：标准光纤耦合端口，兼容全系列 V-KF 真空光纤、显微探头、积分球配件

2. 结构拓展特性

• 分体光纤模块化设计，法兰 360° 自由旋转，适配狭小设备、真空腔体、产线高架管路；

• 整机一体化集成探测器、分光模块、信号处理单元，可台式实验室使用，也可嵌入自动化产线控制柜；

• 通讯接口：USB、以太网，可直连电脑、PLC、MES 产线系统，数据实时上传。

3. 配套耗材适配适配 V-KF 系列 KF 真空波纹管、KF 弯头、KF 三通、KF 密封卡箍、显微光纤探头、积分球采样配件。

三、核心五大检测功能

1. 薄膜厚度测量（核心用途）搭配反射光谱拟合软件，采集薄膜干涉光谱，*解算单层 / 多层膜厚度、折射率、消光系数，适配晶圆氧化层、ITO 导电膜、光学增透膜、光刻胶检测。

2. 显微光谱采集外接显微光纤探头，完成微米级微区样品光谱测试，适配芯片、微型光学元件局部薄膜表征。

3. 光源发射光谱检测测试 LED、氙灯、卤素灯的发射光谱、色温、显色指数、亮度参数。

4. 透射 / 反射光谱分析测量光学镜片、玻璃、功能涂层透过率、反射率曲线，评估材料光学特性。

5. 物体色彩评估内置 CIE 色彩算法，自动输出 Lab、XYZ 色坐标、色差数据，用于显示屏、光伏玻璃、外观件色彩质检。

四、产品核心优势

1. 毫秒级高速并行采集区别传统单通道扫描式分光光度计，一次性捕获全波段光谱，5ms 完成单次测量，大幅缩短产线批量样品检测时长，适配自动化连续产线在线监测。

2. 光纤通用模块化拓展标准光纤输出端口无样品限制，可自由搭配各类采样配件，兼顾机箱内部、真空腔体、产线工位多场景切换，无需非标改造管路。

3. 全波段广谱覆盖，一机多用单台设备同时满足薄膜测厚、光源测试、色彩质检、材料光学表征多类需求，替代多台单一功能检测仪器，降低设备采购与运维成本。

4. 低析出洁净光学设计光纤、光路接触件采用 SUS316L 低析出不锈钢，无金属粉尘、离子脱落，不会污染晶圆、光学元器件，满足半导体无尘车间标准。

5. 智能配套分析软件内置薄膜模型、色彩空间、光源光谱多套算法模板，无需深厚光学理论基础，操作人员一键完成采集、拟合、报告导出。

五、细分应用场景

1. 半导体 / 光伏行业刻蚀机、CVD 镀膜机、扩散炉、制绒设备真空管路薄膜厚度在线监测；晶圆涂层、中性特气管路光谱采集。

2. 科研实验室真空热台、电子束设备、样品检测腔体、气体循环系统光谱表征；材料研发薄膜光学特性测试。

3. 精密光学设备薄膜沉积、真空蒸镀、光学封装设备，镜片、镀膜层反射 / 透射光谱与厚度检测。

4. 自动化工业产线显示屏、光伏玻璃、塑胶外壳色彩在线筛查；干式真空泵、分子泵配套柔性管路振动吸收测厚系统。