FLUORO 福乐 C007 导电真空吸笔 干法防静电吹气弹出晶圆真空镊子

发布时间:2026-07-06

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C007真空吸笔实物图

一、产品基础概述

  1. 产品全称:FLUORO 福乐 C007 导电型吹气释放真空吸笔(C 系列防静电通用款)

  2. 系列定位:C 系列导电尼龙防静电真空拾取工具,适配干法无尘车间芯片、晶圆、光学元件转运;和 F007 同操作逻辑,但材质不适合长期酸碱药液浸泡,主打静电防护、干式取片场景。

  3. 型号命名规则

  1. 配套气源:必须搭配FV-W-Conductive 双路真空泵(负压吸附 + 正压吹气双回路),单负压泵无法使用吹气释放功能

  2. 整机重量:约 22g 轻量化笔身,长时间手持作业不易疲劳

二、核心材质与防静电体系(和 F 系列核心区分)

1. 笔身主体:碳纤维增强导电尼龙

2. 阀体内腔密封件:氟树脂 + FKM 氟橡胶

内部气路、阀片采用耐蚀氟树脂,短期接触少量清洗液无渗漏;密封结构稳定,多角度使用不漏气。

3. 可更换吸嘴耗材(导电 PEEK)

导电 PEEK 吸嘴,镜面抛光,质地柔软不划伤晶圆镀膜、光刻胶;防静电同步,耐磨寿命长;可选直头、弯角、晶圆吸盘、微型尖头多种规格。

4. 管路适配:导电氟塑料软管

整套气路全导电,形成完整静电泄放回路,无尘车间 ESD 管控达标。

三、阀体工作原理(双路吹气释放,同 F007 操作逻辑)

  1. 常态松开按钮:持续负压吸附工件,稳定抓取晶圆、微小芯片;

  2. 按下顶部按钮:切断负压,同步通入低压洁净干燥氮气 / 空气,柔和气流将工件平稳弹出,无撞击、无崩边、无划痕;

  3. 松开按钮:自动切换回负压吸附,连续取片无需启停真空泵。

C 系列四款阀体操作逻辑对比

四、关键技术参数

  1. 负压区间:0~-80kPa,真空泵调压阀无级调节吸力,适配 0.05g~300g 薄工件

  2. 吹气正压:0.02~0.05MPa 低压柔和气流,避免冲飞薄硅片、软基板

  3. 吸杆多规格长度:97/103/161mm,适配不同设备腔体深度

  4. 适配工件:2~12 寸硅晶圆、薄玻璃基板、008005 微小芯片、光学滤光片、LED 芯片

  5. 工作环境:干式无尘车间(百级 / 千级),环境温度 0~60℃,禁止长期浸泡强腐蚀药液

五、五大核心产品优势

  1. 全机身导电防静电,ESD 防护稳定碳纤维导电尼龙笔身 + 导电 PEEK 吸嘴 + 导电管路整套防静电,干法半导体、电子封装产线标配,杜绝静电击穿精密元器件。

  2. 吹气弹出式卸料,薄工件零损伤区别于自重落料的 C002/C003,低压气流均匀推开工件,薄晶圆、软膜、微小芯片不会崩边、划伤,良率更高。

  3. 轻量化高韧性尼龙机身,抗摔耐用相比 PTFE 材质 F 系列,尼龙抗冲击、抗磕碰能力更强,产线频繁拿取不易损坏,采购成本更低。

  4. 模块化耗材,维护成本低吸嘴、吸杆独立可拆卸,磨损仅更换前端耗材,无需整支更换;弯杆、直杆、晶圆吸盘全规格覆盖。

  5. 万向接头灵活适配狭小工位X 型万向 360° 旋转接头,设备狭小腔体、多角度取片操作更顺手。

六、C007 与 F007 核心差异(选型关键)

表格

项目C007 导电尼龙款F007 全 PTFE 耐化学款
主体材质导电碳纤维尼龙全氟树脂 PTFE
耐化学腐蚀仅短期少量药液接触,不可浸泡长期浸泡 HF、强酸、剥离液、有机溶剂
适用场景干法封装、检测、分选工位湿法蚀刻、清洗、药液槽转运
静电防护整机导电,ESD 导电 PTFE,兼顾防腐 + 防静电
价格更高,量产干法工位*价格偏高,湿法

七、典型应用场景(仅限干式无尘环境)

  1. 半导体封装检测:薄晶圆分选、芯片外观检测、探针台取放;

  2. 光伏干法工序:玻璃基板镀膜前干式转运、光伏小片分选;

  3. 光学精密制造:光学镜片、滤光片无尘干式拾取;

  4. 电子 SMT / 封装:LED、功率芯片、软基板分选、摆盘;

  5. 实验室干式样品处理:无腐蚀药液环境微小基板转移。


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