FLUORO 福乐 C002 常开导电真空吸笔 干式防静电晶圆芯片真空镊子

一、产品基础信息

1. 产品全称：FLUORO 福乐 C002 干式导电真空吸笔（NO 常开按断式）

2. 系列定位：C 系列干式防静电主力标准款，仅用于无尘干式工位，不可浸泡酸碱药液

3. 型号命名规则

• C002：阀体型号，NO 常开结构，常态持续吸附、按下断气释放

• D：标准阀体；X=360° 万向旋转接头；Y = 直插固定接头

• 中段数字：吸杆长（95/97/103/161mm 多规格）

• 后缀 CP = 导电 PEEK 晶圆吸盘；0.3/0.5 = 微型尖头吸嘴；B = 弯角吸嘴完整型号示例：C002-D-X-97-CP、C002-D-Y-103-0.3

1. 配套气源：仅需单负压无油隔膜真空泵，无需正压吹气回路

2. 整机重量：约 25g 轻量化笔身，长时间手持作业不易疲劳

二、防静电材质体系（C 系列通用，与 F 系列防腐款区分）

1. 笔身主体：碳纤维填充导电尼龙

表面电阻率 10⁶~10⁸Ω，完整导出静电，杜绝 CMOS 芯片、晶圆静电击穿；韧性高、抗摔耐磨，磕碰不易开裂；短板：不耐强酸、剥离液、有机溶剂，禁止长期浸泡药液槽。

2. 内部阀芯与阀腔：氟树脂一体成型

气密性稳定，阀组开合顺滑，无金属弹簧接触介质，低发尘，满足百级无尘车间标准。

3. 可更换吸嘴耗材：导电 PEEK

镜面抛光，质地柔软不划伤晶圆镀膜、光刻胶层；同步防静电，耐磨寿命长，覆盖晶圆、微小芯片、光学基板全规格。

4. 密封与管路配套

阀片采用 FKM 氟橡胶密封；搭配导电氟塑料软管，形成完整静电泄放回路，ESD 管控达标。

三、阀体工作原理（C 系列核心区分）

1. 操作逻辑：常开持续吸附，按压切断真空落料真空泵持续供气，不按按钮时自动吸牢工件；按下顶部阀钮直接切断负压，工件依靠自重自然脱落；松开按钮立刻恢复吸附，连续取片效率高。

2. 标准取放流程① 吸嘴贴合工件，自动负压抓取晶圆 / 芯片；② 手持转运、静置检测、对位；③ 轻按顶部按键断真空，工件自重落下完成卸料。

3. C 系列四款阀体操作对比

• C001：点动按压吸附，松手断气；适合短时间单次间歇拾取

• C002：常开常吸、按断释放；适合流水线连续批量转运（本款）

• C003：常开 + 侧边自锁开关，可锁住吸力，长时间作业不用持续手持

• C007：负压 + 正压双路吹气弹出，薄易碎件，需双路真空泵

四、关键技术参数

1. 负压区间：0~-80kPa，真空泵调压阀无级微调吸力，适配 0.05g~500g 工件

2. 多规格吸杆长度：95/97/103/161mm，适配不同设备腔体深度

3. 适配工件：2~12 寸硅晶圆、光学玻璃基板、01005 微小芯片、陶瓷射频基板、硬质 PCB

4. 适配管路：Φ3×5、Φ4×6 导电氟塑料真空软管

5. 使用环境：干式无尘车间，环境温度 0~60℃，禁止接触强腐蚀化学药液

五、五大核心产品优势

1. 常开常吸设计，流水线连续作业效率高无需持续按压即可保持吸附，批量上下料、连续转运工位操作流畅，大幅减少手部操作动作。

2. 全机身导电防静电，干式产线通用标配导电尼龙笔身 + 导电 PEEK 吸嘴整套静电泄放，有效保护芯片、薄晶圆、光学元件不被静电击穿。

3. 单负压简易配套，设备投入成本低无需氮气、双路气源，客户现有普通单负压隔膜真空泵即可配套，对比 C007 吹气款采购门槛更低。

4. 高韧性尼龙机身，耐用抗磕碰相比 PTFE 材质 F 系列，抗摔、抗冲击性能更强，产线频繁拿取不易损坏，批量采购更高。

5. 模块化耗材，维护成本低吸嘴、吸杆独立可拆卸，磨损仅更换前端耗材，无需整支更换；晶圆吸盘、微型尖头、弯角吸嘴全规格可选。

六、典型应用场景（仅限干式无尘环境）

1. 半导体封装检测：晶圆分选、探针台质检、芯片外观检测、短距离连续转运工位；

2. 车载电子产线：毫米波雷达陶瓷天线、射频芯片批量装配转运；

3. 光伏干法工序：玻璃基板镀膜前干式取放、硅片分选；

4. 光学制造：硬质光学滤光片、镀膜镜片干式拾取；

5. SMT 精密电子：LED、功率芯片、硬质 PCB 摆盘、返修上料。