MIYUKI 美幸辉 B‑I200｜ISO‑F DN200 两位通断气动蝶阀（分子泵隔离 / 腔体隔断）

原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，负责人林经理¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

*（www.shashinkagaku.com），办公地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号：B‑I200，ISO‑F DN200（200A）两位式气动蝶阀

B 系列为纯开关通断阀，只有全关、全开两个位置，无任何中间调节开度；薄阀体，大流导，低放尘，主打管路隔离切断；用于分子泵隔离阀、腔体隔断、主抽回路通断，不做压力调节、慢抽控制。

型号释义

可定制：JIS、KF、CF 刀口法兰；密封升级 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况；可选单作用弹簧失气全关版本。

齿轮齿条气缸驱动，双作用标准型

仅 0° 全关、90° 全开两个机械位置，无中间档位，不能做 PID 调压、不能做慢抽；气缸两端内置气垫缓冲，启闭冲击小，降低振动与密封磨损，延长密封圈寿命。
阀位信号反馈：内置 2 路独立微动开关，输出全开、全关无源接点信号，直接对接 PLC 实现自动化联锁；可直观反馈阀门实际状态，防止误判。
阀体薄对夹结构：流导大，管路压降小，适合大口径主抽管路；SUS304 镜面电解抛光 EP，洁净室装配，低放气低析出，适配工业与半导体中高真空系统。

⚠️注意：阀体支持* 150℃烘烤；气缸执行器环境温度≤40℃，严禁烘烤气缸组件。

标准双作用：断气保持当前阀位；选型单作用弹簧复位版本，失气自动全关，用于安全联锁场景。

表格

项目	B‑I200 ISO‑F DN200 参数
公称通径	DN200（200A）ISO‑F 法兰
真空工作区间	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源	0.4‑0.6MPa 洁净干燥无油压缩空气；标准双作用，可选单作用弹簧复位
阀位模式	仅 0° 全关 /90° 全开，无中间开度、无慢抽功能
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤温度	阀体* 150℃；气缸执行器≤40℃，不可烘烤
机械寿命	≥100 万次循环，气垫缓冲降噪
电气信号	2 路微动开关：全开、全关阀位信号输出

选型边界区分：

系统组成：B‑I200 两位通断蝶阀 + 电磁阀 + PLC 联锁控制

工作流程：PLC 控制电磁阀，实现阀门全开 / 全关；阀位开关反馈给 PLC 做互锁逻辑；分子泵停机时关闭 B‑I200，隔绝大气保护泵组；如需慢抽预抽，需要额外配置 BH 系列缓抽阀或者旁路针阀。

表格

项目	B‑I200 两位通断蝶阀	BH‑I200 两段缓抽蝶阀	BAR‑I200 电动伺服蝶阀
驱动	气动双作用（可选弹簧复位）	双气缸气动两段式	DC24V 伺服电机，可选‑B 抱闸
阀位模式	只有全关、全开两位置	全关‑慢抽‑全开三机械档位	0‑90° 连续角度可调
控制能力	仅通断隔离，无慢抽、无 PID	机械档位，可慢抽，不可 PID 闭环	配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压
适用定位	分子泵隔离、腔体隔断	大腔体预抽，防物料飞溅	镀膜、锂电，连续压力闭环稳压

提示：市面存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。