MIYUKI 美幸辉 B‑C50｜CF50 高真空通断蝶阀（科研无油系统）

原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，负责人林经理¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

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型号：B‑C50，CF50 刀口法兰两位式气动蝶阀

B‑C50 属于 B 系列两位开关蝶阀，CF 金属刀口法兰，配无氧铜铜垫圈实现高真空密封，阀体薄大流导，低放气、低析出，仅具备全开 / 全关两位置；用于无油科研真空系统、分子泵隔离、束线腔体、表面分析设备，只做管路隔离切断，无调节、无慢抽功能。

型号释义

可定制：单作用弹簧复位（失气自动全关）；密封可选 Kalrez 全氟醚；可提供手动版本。

齿轮齿条气缸驱动

标准双作用气缸，只有 0° 全关、90° 全开两个机械位置，不可做 PID 调压、不可慢抽；气缸内置气垫缓冲，启闭冲击小，降低振动，减少密封圈磨损，适合反复启闭科研工况。
CF 刀口法兰高真空密封

法兰刀口挤压无氧铜垫圈实现金属密封，支持高温烘烤除气，适配无油高真空系统；阀体、蝶板 SUS304 镜面电解抛光 EP，放气率极低，适合表面分析、电子束、质谱类设备。
阀位反馈：标配 2 路独立微动开关，输出全开、全关无源接点信号，对接 PLC 实现联锁保护。

⚠️阀体*烘烤温度 200℃；气缸执行机构环境温度≤40℃，严禁烘烤气缸。

双作用版本断气保持当前阀位；选型单作用弹簧复位，失气自动全关，用于安全联锁，防止大气倒灌损坏分子泵。

表格

项目	B‑C50 CF50 参数
公称通径	CF50（DN50）刀口法兰
真空工作区间	常压～10⁻⁷Pa 高真空，双向承压
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源	0.4‑0.6MPa 洁净无油压缩空气；标准双作用，可选单作用弹簧复位
阀位模式	仅 0° 全关 /90° 全开，无中间开度，无慢抽功能
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP
标准密封	轴封 FKM 氟橡胶；法兰端依靠无氧铜垫圈金属密封；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤温度	阀体* 200℃；气缸执行器≤40℃，不可烘烤
机械寿命	≥100 万次循环，气垫缓冲降噪
电气信号	2 路微动开关：全开、全关阀位信号输出

科研无油高真空系统、分子泵隔离阀

扫描电镜、XPS、质谱、电子束蒸发设备，隔离分子泵，停机保护泵组，防止大气倒灌污染腔体；CF 金属密封适配烘烤除气，无油系统低放气需求。
束线设备、小型科研腔体隔断

腔体维护时隔离泵组，不用整套系统放大气；只做通断隔离，不参与压力调节。
小型薄膜实验设备、小样镀膜、氦检设备

高真空管路切断，搭配旁路实现慢抽；本阀不具备慢抽能力，慢抽需要额外旁路阀 / BH 系列。

选型边界区分：

系统组成：B‑C50 CF50 两位通断蝶阀 + 电磁阀 + PLC 联锁控制

工作流程：PLC 控制电磁阀，实现阀门全开 / 全关；阀位开关反馈给 PLC 做互锁逻辑；分子泵停机时关闭 B‑C50，隔绝大气保护泵组；如需慢抽预抽，需要额外配置旁路针阀或 BH 系列缓抽阀。

表格

项目	B‑C50 两位通断蝶阀	BH‑C50 两段缓抽蝶阀	BAR‑C50 电动伺服蝶阀
驱动	气动双作用（可选弹簧复位）	双气缸气动两段式	DC24V 伺服电机，可选‑B 抱闸
阀位模式	只有全关、全开两位置	全关‑慢抽‑全开三机械档位	0‑90° 连续角度可调
控制能力	仅通断隔离，无慢抽、无 PID	机械档位，可慢抽，不可 PID 闭环	配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压
适用定位	科研 UHV、分子泵隔离、腔体隔断	CF 腔体预抽，防样品飞溅	科研镀膜，需要连续压力闭环稳压

提示：市面存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。