MIYUKI 美幸辉 MGCS‑21｜双通道独立真空压力控制器（双腔体 / 双工艺段独立控制）
型号：MGCS‑21，双通道独立 PID 真空压力控制器
MGCS‑21 为双通道完全独立闭环控制器，
通道 1、通道 2 两套完全独立 PID 运算，互不干扰；单台控制器可驱动 2 台 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀，分别对应两套独立腔体 / 双工艺段，各自读取对应真空计信号，独立稳压；替代两台 MGCS‑11，节省机柜空间，多用于双腔镀膜、串联工艺腔体、双工位设备。
⚠️仅适配BAR、GAR、G 伺服调节阀；不能驱动 BAZ 定点阀、BH 缓抽阀、B 开关阀。
型号释义
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MGCS‑21：双通道独立 APC 真空压力控制器；通道 CH‑1、CH‑2 硬件完全独立；
可定制：UPS 断电保护；RS485 通讯；机柜 19 英寸半机架安装。
结构与工作原理
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双通道完全独立 PID 闭环控制
每通道独立真空计输入、独立 PID 运算、独立阀门驱动输出，两个腔体工艺压力、PID 参数、配方完全分开，互不影响；支持 PIDAT 一键自整定，每通道可单独自整定，适配不同腔体容积、不同泵抽速工况。
闭环逻辑：真空计采集腔体压力→对应通道 PID 运算→输出驱动信号调节对应伺服阀开度→改变流导，稳定腔体工艺压力。
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人机界面：5 英寸彩色触摸屏
分屏同时显示 CH‑1、CH‑2 设定压力、实际压力、阀门开度、报警状态；每通道可独立调用存储工艺配方。
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信号接口
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模拟输入：每通道 1 路 0‑10V 真空计输入，合计 2 路独立真空传感器；
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驱动输出：2 路伺服阀驱动输出，分别驱动 #1、#2 伺服调节阀；
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I/O 干接点：每通道独立启停、报警、就绪信号；全局报警输出；
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通讯：RS‑232C，可选 RS485；支持 PLC / 上位机远程对两个通道分别下发设定、读取压力、开度数据。
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断电保护：支持外接 UPS 不间断电源，保存阀位与工艺参数。
安装：19 英寸半机架机柜安装；工作环境 0‑55℃，避免粉尘腐蚀性气体。
完整技术参数
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项目
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MGCS‑21 双通道压力控制器 参数
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控制通道
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CH‑1、CH‑2，两套硬件完全独立 PID 闭环
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压力控制区间
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0.1Pa～10⁵Pa（每通道独立）
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控制精度
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设定压力 ±0.1% FS，每通道独立指标
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PID 算法
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PIDAT 模糊自整定，每通道独立 7 档自整定
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真空计输入
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2× 独立 0‑10V DC（通道 1、通道 2 各接一只真空计）
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阀门驱动输出
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2 路独立驱动，适配 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀
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工艺配方存储
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每通道 8 组独立配方，合计 16 组可调用
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显示
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5 英寸彩色触摸屏，双通道同屏显示
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电气 I/O
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每通道独立启停、就绪、报警干接点；全局报警输出
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通讯接口
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标配 RS‑232C；可选 RS‑485
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供电
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AC100‑230V 宽电压，*功耗 300W
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安装方式
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19 英寸半机架安装
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尺寸 (宽 × 深 × 高)
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241 mm ×344 mm ×143.5 mm
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重量
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5.2kg
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典型应用场景（双腔体 / 双工艺段独立控制）
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双腔 PVD、串联式卷绕镀膜设备
前处理腔体与镀膜腔体，两个腔体需要维持不同工艺压力；一台 MGCS‑21 分别驱动两台伺服阀，两套闭环独立稳压，省去两台单通道 MGCS‑11，节约机柜空间与成本。
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双工位半导体、光伏工艺腔体
两套腔体并行工艺，压力参数不一样；通道 1、通道 2 可独立启停，互不干涉。
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科研双腔体系统、对比试验平台
两个实验腔体需要分别稳压，做对照工艺实验；每通道独立整定 PID，适配不同腔体特性。
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MGCS‑21（双通道独立）：2 套独立腔体，各配 1 台伺服阀，两套闭环完全独立运行；
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MGCS‑11（单通道）：单腔体控制；如需双腔，必须配置 2 台 MGCS‑11；
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MS‑PC：BAZ/GAZ 定点阀控制器，不能做 PID 压力闭环。
系统成套配置方案
系统组成：MGCS‑21 双通道控制器 + 伺服阀 ×2 台 + 真空计 ×2 台
工作流程：CH‑1 读取 #1 腔体真空计，驱动 #1 伺服阀，维持 #1 腔体目标压力；CH‑2 读取 #2 腔体真空计，驱动 #2 伺服阀，维持 #2 腔体目标压力；两个通道可独立启动 / 停止，支持本地触摸屏操作，也支持 PLC 远程分别控制两个通道。
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MGCS‑21只支持 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀，不能驱动 BH 缓抽阀、B 开关蝶阀、BAZ 定点阀；
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两个腔体必须分别配置独立真空计，不可共用一只真空计；
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不是 “一通道接两个阀门”，而是一通道对应一套腔体 + 一套伺服阀。
选型对比（MGCS‑21 VS MGCS‑11×2）
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项目
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MGCS‑21 双通道控制器
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2 台 MGCS‑11 单通道控制器
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控制能力
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2 通道完全独立 PID 闭环
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两台各 1 通道独立 PID 闭环
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占用机柜空间
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半机架（1 台）
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2 台半机架，占用双倍空间
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配方存储
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每通道 8 组，合计 16 组
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每台 7 组，合计 14 组
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触摸屏
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5 寸彩屏，双腔同屏显示
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4 寸单色屏，单腔显示
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通讯
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一套 RS232，可分别读写两个通道
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两套独立 RS232，上位机需要双串口
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适用场景
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双腔体、双工位设备
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多腔体、设备空间充足场景
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供货与选型提示
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供货状态：MGCS‑21 双通道控制器，订货交期；UPS 断电保护、RS485 版本为定制；可提供原厂规格书、CE 证书。
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选型避坑：MGCS‑21 是两套独立闭环，不是单通道双阀输出；不可驱动 BAZ/BH/B 系列阀门；每通道必须配套对应伺服阀 + 独立真空计。
提示：市面存在翻新二手控制器，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
