近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C002-D-Y-161-99 防静电真空吸笔总成。该产品为C系列导电型真空吸笔中专为12英寸（300mm）半导体硅晶圆整片拾取转运开发的常开阀体规格，采用NO常开型阀体、D型直插硬管接头与Y型固定式吸嘴底座，搭配161mm加长杆，出厂预装99-CP导电PEEK加宽Y型吸嘴。笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，面向半导体无尘车间、封测、探针台、化合物半导体实验室等12寸大硅片手动取放场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及99-CP吸嘴，下单即可安排发货。
一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的*
FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。
二、C002-D-Y-161-99：为12寸整片晶圆打造的常开型吸笔总成
C002-D-Y-161-99是FLUORO C系列导电型真空吸笔中面向12英寸大尺寸晶圆整片拾取的主力规格，出厂即为“笔身+99-CP吸嘴”的完整总成，用户接上真空泵即可使用。
型号释义：
| 编码 | 含义 |
|---|---|
| C002 | C系列导电防静电款，NO常开阀体，接通真空即吸附，按键断气释放，无锁止开关 |
| D | 直插硬管接头，直接对接真空软管，管路连接稳固，适合固定工位 |
| Y | 固定式吸嘴底座，无活动万向关节，大晶圆作业受力稳定不偏移 |
| 161 | 加长杆规格，长161mm，可深入腔体取放 |
| 99 | 标配99-CP导电PEEK加宽Y型吸嘴，专为12英寸整片晶圆设计 |
三、核心技术解析：常开阀体 + 全域防静电 + 12寸吸嘴
① NO常开阀体，常态吸附按键释放。 C002-D-Y-161-99采用NO（Normally Open）常开型阀体。接通真空源后即保持吸附状态，将99-CP吸嘴轻触12寸晶圆背面即可自动吸附；放下晶片时只需按下顶端按钮，即可切断真空释放工件，松开按钮吸力自动恢复。这一操作逻辑无需持续按压保持吸力，有效降低12寸薄硅片长时间拿取、外观检测、工位转移作业中的手部疲劳，适合流水线连续拾取作业。
② 全域防静电防护，12寸整片拾取保障良率。 笔身采用碳纤维增强导电尼龙（TORAYCA） 制成，99-CP吸嘴采用导电PEEK材质，整支吸笔形成连续的ESD静电泄放通路，表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω区间，满足半导体ESD管控规范。可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，规避静电放电对裸硅片、带光刻胶基板、镀膜层的击穿损伤。整机低发尘、低离子析出，满足Class10～1000百级至千级洁净室使用标准，无金属析出污染晶圆表面。
③ 99-CP加宽Y型吸嘴，12寸整片受力均匀不崩边。 出厂预装的99-CP吸嘴是专为12英寸整片晶圆设计的导电PEEK加宽Y型吸头。吸嘴采用加宽Y型多点槽面吸附结构，接触面经过光学镜面抛光处理，多点对称支撑让12寸整片晶圆受力均匀，有效防止大尺寸晶圆在吸附过程中出现变形、崩边，同时不会划伤晶圆表面、光刻胶以及镀膜层。Y型宽幅结构承重能力强，适合12寸整片晶圆垂直对位、定点取放作业。
④ D型直插接头，管路连接稳固不脱落。 C002-D中的“D”代表直插硬管接头设计。真空软管直接插入笔身接口，管路连接稳固可靠，适配固定工位的12寸量产作业。相比万向旋转接头，直插结构的负压损耗更小，气密性更优，确保吸附12寸整片晶圆时吸力输出稳定不打折。
⑤ 氟树脂密封阀芯，高频按压气密性不衰减。 内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。密封件耐受弱酸弱碱与有机溶剂侵蚀，在洁净环境中长期连续使用不易老化，使用寿命远普通手动真空吸笔。
⑥ 模块化快换吸嘴，一支笔覆盖多尺寸工件。 吸嘴采用快拆结构，可快速更换94-CP、95-CP、96-CP、97-CP、98-CP等原厂导电PEEK吸嘴，单支吸笔可兼容从4英寸到12英寸的各类晶圆及基板拾取，降低企业耗材储备成本。吸嘴为独立消耗件，磨损后单独更换，无需更换整支笔身。
四、主要技术规格
| 参数项 | 规格信息 |
|---|---|
| FLUORO福乐 | |
| 型号 | C002-D-Y-161-99 |
| 系列 | C系列（导电型） |
| 阀体种类 | NO（常开型，接通真空即吸附，按键释放） |
| 接头 | D型直插硬管接头 |
| 吸嘴底座 | Y型固定式 |
| 加长杆长 | 161mm |
| 笔身材质 | 碳纤维增强导电尼龙（TORAYCA） |
| 吸嘴材质 | 导电PEEK（聚醚醚酮） |
| 表面电阻率 | 10⁶～10⁸Ω |
| 可用真空压力范围 | 0～-80kPa，支持无级调压 |
| 适配晶圆尺寸 | 2～12英寸整片晶圆及基板 |
| 整笔重量 | 约23～28g |
| 使用环境 | Class10～1000洁净室，干式工况 |
| 产地 | 日本 |
五、C系列常开型选型对比
| 型号 | 阀体逻辑 | 核心差异 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| C002-D-Y-161-99 | NO常开型 | 常态吸附，按键释放，无锁止开关 | 12寸整片晶圆连续搬运、快速取放 |
| C003-D-Y-161-99 | NO+SW | 常开吸附+独立锁止开关 | 12寸晶圆长距离转运、静置校准 |
| C001-D-Y-161-99 | NC常闭型 | 按压吸附，松开释放 | 12寸晶圆短时间频繁取放 |
C002-D-Y-161-99的NO常开逻辑在12寸量产线上操作*简洁高效，吸附与释放由操作人员主动控制，适合需要快速取放、连续搬运的工位。
六、配套真空泵与耗材方案
该吸笔需搭配FV系列无油隔膜真空泵使用，FV-60（适配6-8寸）或FV-XP（适配8-12寸）均可作为负压气源，无需空压机与储气罐，交流市电直接工作，整机无油设计杜绝油污污染晶圆。可搭配FLUORO 852导电PVC真空软管（Φ3×5 / Φ4×6）搭建完整拾取系统。同步供应替换吸嘴（94/95/96/97/98-CP系列）、替换金属轴、桌面式吸笔支架等耗材。
七、适用行业与场景
12英寸硅晶圆搬运：整片拾取、来料检验、AOI光学检测、工位转移
半导体封测：封装工序中的12寸晶圆拾取与装配
探针台工位：12寸晶圆电性测试过程中的*定位与移载
化合物半导体：碳化硅、蓝宝石基板的防静电取放
晶圆贴膜与划片：贴膜工序及研磨划片前后的12寸晶圆处理
研发实验室：无尘样品转移、精密检测、工艺调试
光学基板搬运：大尺寸光学玻璃基板、陶瓷基板的手动拾取
八、现货库存信息
FLUORO福乐 C002-D-Y-161-99 防静电真空吸笔总成目前原装现货在库，含吸笔主机及99-CP吸嘴，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（94/95/96/97/98-CP系列）、FLUORO 852导电PVC真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。
