FLUORO福乐 C007-Y-98-CP 导电真空吸笔 双路吹气固定接头

发布时间:2026-10-20

在8英寸晶圆分拣、薄硅片检测或化合物半导体基板搬运工位,工件薄脆且自重轻,普通依靠自重脱落的真空吸笔常面临静电粘连、薄片粘吸嘴无法脱落的问题,强行拉扯容易导致崩边或隐裂。针对这种“吸得起却放不下”的工况,FLUORO福乐 C007-Y-98-CP 属于C系列NO+Blow(常开+吹气释放) 吸笔,采用Y直柄刚性接头搭配98-CP导电PEEK吸头,通过双路气路在释放时输出正压气流主动剥离工件,是干式无尘环境下针对薄脆工件粘连痛点的方案。

双路气路与NO+Blow吹气逻辑

C007系列与C001/C002/C003的本质区别在于二重配管双气路阀体结构。笔身内部集成两套独立气路,通过一根双通路软管分别连通负压吸附回路与正压吹气回路,阀芯及密封件采用PTFE氟树脂材质保证切换气密性。

工作逻辑分三个状态:

吹气压力由FV-W泵调节,力度需控制在“刚好能吹离”的区间,过强可能将轻薄工件吹飞;双路软管为配件,不可用普通单路真空软管替换。

Y直柄刚性接头与98-CP吸头的几何适配

型号中的 Y 代表固定式直柄接头,笔身与吸头之间为刚性直线连接,无活动关节。在拾取8英寸晶圆并垂直对位或长距离转运时,刚性结构消除了悬持过程中的微小晃动,吸头端面与晶圆背面保持轴线一致,抓取厚重8寸晶圆或翘曲片时不偏移、不打滑。

98-CP 是专为8英寸(200mm)晶圆设计的导电PEEK加宽加长三爪多沟槽吸盘,吸嘴外径L1为32mm,高度L2为39mm,整体长度L约128mm,重量约3.5g。加宽的接触面积将负压均匀分散到晶圆背面,降低薄片和翘曲片的局部压痕与崩边风险;接触面镜面抛光,低发尘,不划伤光刻胶或镀膜层。吸头采用模块化快拆结构,磨损或污染后单独更换即可,笔身可长期沿用。

全链路ESD防护与系统集成

整支吸笔构建了从笔身到吸头的导电泄放通路:笔身为碳纤维增强导电尼龙,表面电阻率稳定在 10⁶~10⁸Ω 的ESD防静电区间;吸头为导电PEEK,碳填充实现体积导电。人体摩擦产生的静电荷沿笔身→阀芯→吸头缓慢导走,在接触晶圆的瞬间不会产生电位差放电。

系统集成有一条硬边界:C007不能搭配FV-30、FV-60等普通单负压真空泵,普通泵只有负压输出,没有正压吹气回路,无法实现吹气释放功能。专属动力源是FV-W系列双向真空泵(C系列对应FV-W-Conductive),其内部集成负压发生与正压输出两套系统,通过一根双管路软管与C007连接,无需为吸附和吹气分别配置两台泵。整套系统需接地,才能完整发挥防静电效果。

操作边界:该型号为干式防静电款,仅限Class 10~1000洁净室内的干燥工况使用,不可接触或浸泡化学药液。若涉及湿法工序后的带液工件,需切换至F系列PTFE耐化学吸笔。

选型咨询: 欢迎留言或私信提供您的工件尺寸(如8英寸/200mm)、厚度(常规/薄)、材质(硅/碳化硅/玻璃)及工位是否存在静电粘连问题,获取C007-Y-98-CP吸笔、FV-W-Conductive双向真空泵及双路软管的完整配套方案与报价。


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