FLUORO福乐 F系列是一款专为强腐蚀性化学环境设计的手动真空吸笔/镊子。该系列针对半导体湿法工艺、化学药液处理等严苛场景开发,通过主体与吸嘴的特殊材质组合,解决了传统吸笔在接触强酸强碱时易腐蚀、易老化的问题。
吸笔主体(4F-PTFE 聚四氟乙烯):主体采用氟树脂制成,通过精密加工技术,巧妙结合了PTFE的优异化学惰性。不仅耐强酸强碱,还保证了长期稳定的气密性与耐久性。
吸嘴(PEEK 聚醚醚酮):吸嘴采用高性能PEEK材料,具备优异的耐化学腐蚀性、耐热性及机械强度。吸嘴经过加工后进行热处理,并做镜面抛光处理,即使长期使用也能保持稳定的吸附性能,且不易划伤晶圆。
标准尺寸:长145mm × 宽14mm(F001 / F002 / F003 均采用此尺寸)。
广泛兼容:吸附芯片(吸盘)提供多种尺寸和选项,可灵活适配各种尺寸的晶圆(Wafer)。
管材适配:支持连接两种常见规格的真空管材,即 Φ3×5 和 Φ4×6 尺寸的管材。
半导体湿法工艺:如强酸(HF、HCl等)、强碱、显影液、去胶液等化学槽周边的晶圆搬运。
光刻胶与化学品处理:避免操作人员直接接触危险化学品。
实验室研发:对高纯度、无污染要求的腐蚀性环境。