日本 TOHO 东朋(東朋テクノロジー),部名古屋,半导体材料表征领域老牌厂商,HL9900 是行业经典台式霍尔测试系统,采用模块化架构,后期可升级高阻模块、低温模块,高校实验室、化合物半导体、透明导电薄膜企业大量在用。
✅ HL9900 核心技术参数
1. 可测材料参数
电阻率、方块电阻、霍尔系数、载流子迁移率、载流子浓度、导电类型(N 型 / P 型)、磁阻等关键电学参数
2. 测试方法
支持范德堡 Van der Pauw、霍尔棒 Hall Bar、桥式测试三种模式,满足 ASTM F-76 国际测试标准,测试数据认可度高,论文、来料检测均可采信
3. 方块电阻量程
- 标准主机:10⁻⁴ Ω/sq ~ 10⁶ Ω/sq
- 选配高阻缓冲放大器模块:可扩展至 10¹¹ Ω/sq,高阻薄膜、氧化物材料也能测
4. 载流子浓度:10⁶ ~ 10²¹ cm⁻³
5. 载流子迁移率:1 ~ 10⁷ cm²/V・s
6. 恒流源规格
电流输出范围:100nA~19.9mA,支持自动电流调节,自动限制电场,避免样品发热击穿,保护脆弱薄膜样品
7. 电压测量
测量电压范围 ±6V;输入阻抗 10¹⁰Ω,单通道输入漏电流典型值 20nA,弱信号采集稳定
8. 磁场系统
永磁体 0.5T(5000 高斯),磁场精度标称 ±1%;25mm 直径样品区域磁场均匀度 ±1%;磁极间距 33.4mm;长期磁场稳定性好,十年磁场漂移仅 0.1%,无需频繁校准
9. 样品尺寸
样品直径 25mm,四探针微调样品台,探针直接形成欧姆接触,无需焊线、制作电极 PCB,样品制备省时,样品更换效率高
10. 测试信号模式
AC (213Hz) / DC 双模式;AC 模式抑制热电动势、漂移噪声,信噪比高;DC 模式用于部分特殊材料测试场景
11. 可选拓展单元
- 高阻抗放大器模块:高阻材料测量
- 低温测试单元:支持 77K 低温霍尔测试,低温材料载流子特性研究
📌 设备核心优势
1. 模块化设计:基础主机起步,后续按需增加高阻、低温配件,不用整机更换,降低投入成本。
2. 抗干扰强:AC 交流检测避免热电漂移,实验室环境下重复性好。
3. 操作简单:配套*上位机软件,一键自动测试,自动计算、导出测试报告,不用手动演算霍尔公式。
4. 台式紧凑结构,占用实验室台面空间小,安装调试便捷。
🧪 典型应用行业 & 材料
硅基半导体、化合物半导体(GaN、GaAs 等)、ITO/IZO 透明导电薄膜、氧化物半导体、光伏薄膜材料、科研所新材料研发、企业来料电学性能抽检。
💡选型避坑提醒
1. 测高阻薄膜务确认是否选配高阻抗缓冲模块,标准主机无法测量高于 1MΩ/sq 样品;
2. 低温测试需求,需要单独搭配低温单元,常温标准版不含低温腔;
3. 样品尺寸大于 25mm,需要提前评估样品适配性。
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