现货！FLUORO福乐C001-D-X-106真空吸笔技术解析常闭型导电尼龙半导体晶圆无尘取放工具

近日，我司新推出了日本FLUORO福乐（フロロメカニック）C001-D-X-106 防静电真空吸笔。该产品为C系列导电型真空吸笔中配备NC常闭型阀体与X型万向旋转接头的经典规格，笔身采用碳纤维增强导电尼龙材质，吸嘴采用导电PEEK材质，适配106mm加长金属导杆，面向半导体硅晶圆搬运、芯片封装、探针台测试等对静电防护有严苛要求的干式无尘场景。目前原装现货在库，含吸笔主机及106金属导杆，下单即可安排发货。

一、四十余年晶圆拾取经验，半导体精密搬运的*

FLUORO福乐隶属于日本フロロメカニック（Fluoro Mechanic），部位于东京都江户川区，自1983年开发真空镊子以来，专注半导体硅晶圆吸附搬运工具及小型高压真空泵的研发、制造与销售，拥有过50年的精密工具制造经验。其产品以高精度、抗静电和耐化学腐蚀性能著称，广泛应用于半导体、精密电子制造及洁净室环境。

二、C001-D-X-106：常闭阀体 + X万向接头 + 106加长杆经典规格

C001-D-X-106是FLUORO C系列导电型真空吸笔中以*点动控制为特色的经典款规格，专为半导体6英寸及以下晶圆、薄型基板、精密元器件的无尘取放而开发。

型号释义：

三、核心技术解析：NC常闭阀体 + 全域防静电 + X万向接头

① NC常闭阀体，*点动控制。 C001-D-X-106采用NC（Normally Closed）常闭型阀体。操作逻辑为：按住按键形成吸力拾取工件；松开按键直接卸压放下器件，适合点动式短时间拾取作业。与C002常开型“接通真空即吸附”的逻辑相反，C001的NC常闭设计让操作人员主动控制吸附时机，避免误吸附导致的晶圆掉落风险，尤其适合需要*对位的探针台上下料、检测工位取放等场景。

② 全域防静电防护，保障晶圆良率。 在半导体制造中，静电放电（ESD）是导致晶圆良率损失的隐形杀手。C001-D-X-106笔身采用碳纤维增强导电尼龙树脂（TORAYCA） 制成，吸嘴采用导电PEEK材质，两者构成完整的静电泄放通路。表面电阻率稳定控制在10⁶～10⁸Ω的防静电范围内，可快速疏导作业过程中因摩擦产生的静电荷，有效消除静电积聚，降低因静电击穿导致的良率损失。整机无尖锐外露金属件，作业过程避免晶片镀膜刮伤。

③ X型360°万向旋转接头，腔体内灵活对位。 C001-D-X-106采用X型球状万向旋转接头，软管连接处可360°自由转动，不受真空软管拉扯束缚。在设备腔体深处、夹具夹缝位置拾取晶片时操作更加灵活，倾斜工位也可以垂直贴合工件表面，降低碎片风险。

④ 106加长金属导杆，深入腔体取放。 106规格的加长金属导杆专为设备较深腔体内部取料作业设计。可深入设备腔体、载具、治具内部进行晶圆取放作业，无需拆解设备，特别适合机台内部、探针台等空间受限工位的精密搬运。

⑤ 氟树脂密封阀芯，高频按压气密性不衰减。 内部阀芯采用氟树脂密封结构，阀体内壁经抛光处理，高频次反复按压依旧气密性稳定，不易漏气失效。密封件耐受弱酸弱碱与有机溶剂侵蚀，在洁净环境中长期连续使用不易老化。

⑥ 模块化可更换吸嘴，降低运维成本。 吸嘴属于消耗配件，磨损后仅更换吸嘴即可，无需整套更换笔身。兼容C系列全系配套吸嘴，可依据晶片尺寸选配96-CP、95-CP等多种规格。整笔重量约23～28g，握持轻便，支持单手长时间操作。

四、主要技术规格

五、C系列选型对比

C001的NC常闭逻辑适合需要*控制吸附时机的场景，吸附与释放由操作人员主动控制；C002的NO常开逻辑在量产线上操作更简洁高效；C003的独立锁止开关则适合需要长时间保持吸附状态的晶圆长距离转运。

六、配套真空泵方案

FLUORO FV系列无油隔膜真空泵专为半导体无尘室开发，作为C001-D-X-106吸笔负压气源，无需空压机、储气罐，交流市电直接工作，适配Class100-1000洁净环境。

整机无油设计，杜绝油污污染晶圆，进气口和排气口均内置HEPA过滤器。

七、适用行业与场景

• 半导体制程：6英寸及以下硅晶圆手动转移；探针台测试上下料；研磨、划片取样；深腔设备内部取放晶片

• 芯片封装测试：MEMS器件、LED晶片、小型精密元器件拾取，替代金属镊子

• 光学行业：镀膜玻璃基板、光学滤光片无尘搬运，保护表面镀膜层

• 化合物半导体：碳化硅衬底、氮化镓晶片基板的防静电取放

• 科研实验室：薄脆陶瓷片、光电薄片样品精密转移取样

八、现货库存信息

FLUORO福乐 C001-D-X-106 防静电真空吸笔目前原装现货在库，含吸笔主机及106金属导杆，下单即可安排发货。我司同时供应配套耗材及附件，包括替换吸嘴（95-CP/96-CP等规格）、替换106金属导杆、氟塑料真空软管（Φ3×5、Φ4×6）、FV系列无油隔膜真空泵、桌面式吸笔支架等。可针对不同晶圆尺寸、工艺环境和操作惯匹配吸笔型号与真空泵方案，并提供选型咨询及耗材长期供应服务。如有采购需求或需获取详细技术资料与报价，欢迎随时联系我司销售团队。