DIC 迪爱生 PF-028D 中空纤维脱气模块大流量清洗管路气泡消除实战

来源:玉崎半导体(深圳)有限公司
发布时间:2026-11-06 18:09:54

在大型自动化超声波清洗线或整线式高压喷淋产线中,循环清洗水路往往以2500~6500 L/h的大流量连续运行。清洗液中的微气泡随水流附着在工件表面,直接导致水印、白点甚至局部清洗不净;而在封闭循环回路中,溶解氧的持续累积还会加速管路与循环泵的氧化腐蚀。对于这类大流量清洗管路,脱气模组不仅要具备足够的通量,更要在低压损、抗堵塞与长期连续运行之间取得平衡,避免自身成为循环泵的扬程负担或产线的维护瓶颈。DIC迪爱生 PF-028D 属于 SEPAREL PF-D 系列中的大流量规格,以内灌流中空纤维膜结构、ppb级脱氧能力与反向在线水洗设计,为大型清洗循环水路的大流量除泡提供了一套连续化、低维护的工程方案。

一、实战痛点:大流量循环水路的“气泡与堵塞”双重挑战

大型清洗线的循环水路通常由大功率涡流泵驱动,清洗液在槽体、管路与过滤器中高速循环。这一工况对脱气模组提出了两个硬性要求:

① 气泡必须在线连续脱除,而非批次静置。 大流量清洗液中溶解的O₂、CO₂以及因泵送剪切产生的游离微气泡,随水流附着在工件表面形成水印或白点。批次静置消泡在连续产线上不具备可行性,脱气模组必须串联在循环回路中,在数千升每小时的流量下实时完成气液分离。

② 模组不能成为循环泵的“额外负担”。 大流量下,任何额外的流阻都会直接消耗循环泵的扬程余量,改变管路各段的压力平衡。PF-028D 的内灌流结构(液体走膜丝内腔)在流道设计上兼顾了通量与压损,同时支持反向在线水洗——当清洗液中的微量颗粒或析出物在膜丝内壁累积时,可从壳程反向通水冲刷,恢复脱气通量,无需拆解管路或停机更换模组。对于连续运行的清洗线,这一特性直接降低了因膜丝堵塞导致的非计划停机频次。

二、技术支点:SS致密膜与内灌流结构的工程协同

① SS致密表皮层:只透气、不透液,应对含表面活性剂的清洗液。
PF-028D 采用 DIC 的 PMP 致密皮层中空纤维膜,膜丝外层为约 1μm 的致密无孔皮层。气体分子以“溶解-扩散”机制穿透膜壁进入真空侧,而液态水、表面活性剂分子和颗粒物被阻隔在外。大型清洗线常使用含表面活性剂的清洗液以降低表面张力,普通多孔膜容易被低表面张力液体浸润,导致脱气效率骤降;致密皮层从物理结构上避免了浸润堵膜,使脱气通量在含表面活性剂的循环液中能够长期维持。

② 大通量与低压损:匹配2500~6500 L/h的循环流量。
PF-028D 的额定处理流量为 2500~6500 L/h,外形尺寸 Φ162mm×550mm,液体接口为 Rc1½ 内螺纹,真空侧为 Φ10 软管快插接头。这一通量等级对应的是大型循环水路的主回路脱气,而非喷头前端的微量支路。内灌流结构配合大接口通径,在数千升每小时的流量下维持了较低的流阻,减少了脱气模组对循环泵扬程的额外消耗。

③ ppb级脱氧与双向功能:除泡的同时抑制腐蚀。
PF-028D 可将处理后水体的残氧控制在 ≤1 ppb 级别。在大型循环水路中,低溶解氧不仅直接减少了气泡析出的气体来源,也延缓了管路与循环泵的氧化腐蚀。壳侧切换为工艺气体(N₂、CO₂等)时,同一模组还可向清洗液中溶入气体,制备功能清洗水,减少了备用设备的种类。

三、主要技术规格

参数项规格信息
DIC 迪爱生
型号PF-028D
系列SEPAREL PF-D(内灌流,标准纯水/弱药液型)
额定处理流量2500 ~ 6500 L/h
脱气指标处理后水体残氧 ≤1 ppb
中空纤维膜PMP(聚4-甲基戊烯-1),SS致密表皮层(约1μm,无微孔)
壳体材质耐水解高强度工程塑料,无金属离子析出
外形尺寸Φ162 mm × 550 mm
*液体承压0.3 MPa
使用温度5 ~ 40℃
液体接口Rc1½ 内螺纹
真空侧接口Φ10 软管快插接头
安装方式立式 / 卧式均可
清洗方式支持反向在线水洗(内灌流结构)
功能模式真空脱气(除O₂/CO₂/微气泡)/ 通气溶气(N₂/CO₂等)
适用介质纯水、清洗纯水、弱酸碱清洗液
不适用介质有机溶剂、强酸碱(需切换PF-F全氟系列)
产地日本

数据来源:流量、尺寸、接口与脱气指标引自SEPAREL渠道技术资料;SS膜特性与反向清洗说明引自PF系列技术资料。

四、大流量清洗管路中的实战部署

① 整线式超声波清洗循环水除泡。
在大型超声波清洗线中,清洗液在槽体与循环泵之间持续高速循环,微气泡是造成工件水印、白点的直接原因。PF-028D 串联在循环回路的主干管路上,以2500~6500 L/h的通量对整条回路的清洗液进行在线脱气。内灌流结构支持反向水洗,当清洗液中的颗粒或析出物导致膜丝内壁压损上升时,维护人员可在不停机拆管的情况下完成通量恢复,减少清洗线的非计划停机。

② 高压喷淋产线的循环水在线脱气。
整线式高压喷淋清洗设备中,循环水在喷嘴与集水槽之间快速周转,泵送剪切持续引入微气泡。PF-028D 的Rc1½大接口与循环主管路直接对接,在数千升每小时的流量下将溶解氧和游离气泡同步脱除,减少喷嘴堵塞和工件表面水印缺陷。

③ 半导体/光伏纯水总站的末端脱氧。
在集中式纯水系统的末端,PF-028D 以大通量对供水主线进行在线脱氧,将残氧控制在ppb级,减少管路腐蚀与下游晶圆清洗中的氧化缺陷。

④ 锅炉给水与大型循环水系统的前置除氧。
大型工业锅炉或循环水系统在进入主设备前需要脱除溶解氧以延缓锈蚀。PF-028D 的大通量适配给水泵的流量等级,可作为前置除氧单元,降低后续除氧设备的负荷。

五、实战维护要点

① 反向水洗是常态维护手段,而非故障补救。
内灌流结构支持反向通水冲刷膜丝内壁,建议根据循环液的洁净度建立定期的反向水洗周期,而非等到压损显著上升或脱气效率下降后才执行。反向水洗无需拆解模组,是维持长期通量的低成本手段。

② 前置过滤不可省略。
尽管PF-028D支持反向清洗,入口端仍建议根据清洗液中的颗粒负荷配置精密过滤器(通常1~5μm),从源头减少膜丝内腔的沉积负荷,延长反向水洗周期和膜元件寿命。

③ 流量匹配优先于“余量放大”。
PF-028D 的2500~6500 L/h对应的是大流量主循环层级。若实际回路流量长期低于2500 L/h,应评估PF-020D或更小通量的型号,而非用大模组“兜底”——过大的膜面积和内部持液量会造成不必要的成本与响应滞后。

④ 膜芯一体化灌封,不可拆解换芯。
与SEPAREL全系一致,PF-028D的膜丝束为*灌封结构,拆开端盖会破坏气密界面,导致液体窜入真空侧,模组报废。维护动作应为反向水洗或整体更换。

六、订货与选型支持

DIC迪爱生 PF-028D 大流量中空纤维脱气模组需根据原厂排产计划进行订货,交期视原厂产能与接口配置确认。我司可协助对接DIC原厂技术确认,梳理实际循环流量、清洗液介质类型(是否含表面活性剂)、真空源条件与管路接口匹配的具体要求,完成从通量等级到模组型号收敛的选型过程。同时供应配套的前置过滤器、真空软管及替换用PF-D系列模组。如有采购需求或需获取详细技术资料、交期与报价,欢迎随时联系我司销售团队。


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